Sistem Pemeriksaan Kecacatan Substrat GaN menggunakan pemeriksaan optik tidak merosakkan untuk mengenal pasti dan mencirikan kecacatan dalam substrat galium nitrida (GaN), menyokong penilaian kualiti bahan dan pembangunan proses. Serasi dengan substrat GaN 2-, 4- dan 6-inci, sistem mengesan pelbagai kecacatan, termasuk kehelan benang, ralat susun, domain penyongsangan, sempadan butiran, lubang-V, lompang dan retak, membantu pengguna memahami jenis kecacatan dan pengedarannya merentasi substrat.
Tanya