Sistem Pemeriksaan Cacat Substrat GaN menggunakan inspeksi optik non-destruktif untuk mengidentifikasi dan mengkarakterisasi cacat pada substrat galium nitrida (GaN), mendukung evaluasi kualitas bahan dan pengembangan proses. Kompatibel dengan substrat GaN berukuran 2, 4, dan 6 inci, sistem ini mendeteksi berbagai cacat, termasuk dislokasi threading, kesalahan penumpukan, domain inversi, batas butir, lubang V, rongga, dan retakan, sehingga membantu pengguna memahami jenis cacat dan distribusinya di seluruh substrat.
Menanyakan