GaN 基板欠陥検査システムは、非破壊光学検査を使用して窒化ガリウム (GaN) 基板の欠陥を特定および特性評価し、材料品質評価とプロセス開発をサポートします。 2、4、6 インチの GaN 基板と互換性のあるこのシステムは、貫通転位、積層欠陥、反転ドメイン、粒界、V ピット、ボイド、クラックなどのさまざまな欠陥を検出し、ユーザーが欠陥の種類と基板全体にわたる欠陥の分布を理解するのに役立ちます。
このシステムは、特定の材料特性や検査要件に合わせて構成できる、カスタマイズ可能で拡張可能な検出スイートを提供します。共同開発とアプリケーションのコラボレーションにより、新しく複雑な種類の欠陥に対応できる能力が拡張され、GaN 材料の研究と検査における進化するニーズがサポートされます。
このシステムは、特定の材料特性や検査要件に合わせて構成できる、カスタマイズ可能で拡張可能な検出スイートを提供します。共同開発とアプリケーションのコラボレーションにより、新しく複雑な種類の欠陥に対応できる能力が拡張され、GaN 材料の研究と検査における進化するニーズがサポートされます。
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