GaN 基板欠陥検査システムは、非破壊光学検査を使用して窒化ガリウム (GaN) 基板の欠陥を特定および特性評価し、材料品質評価とプロセス開発をサポートします。 2、4、6 インチの GaN 基板と互換性のあるこのシステムは、貫通転位、積層欠陥、反転ドメイン、粒界、V ピット、ボイド、クラックなどのさまざまな欠陥を検出し、ユーザーが欠陥の種類と基板全体にわたる欠陥の分布を理解するのに役立ちます。
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