Das GaN-Substratdefekt-Inspektionssystem verwendet eine zerstörungsfreie optische Inspektion, um Defekte in Galliumnitrid (GaN)-Substraten zu identifizieren und zu charakterisieren und unterstützt so die Bewertung der Materialqualität und die Prozessentwicklung. Das System ist mit 2-, 4- und 6-Zoll-GaN-Substraten kompatibel und erkennt eine Reihe von Defekten, darunter Gewindeversetzungen, Stapelfehler, Inversionsdomänen, Korngrenzen, V-Pits, Hohlräume und Risse, und hilft Benutzern, Defekttypen und deren Verteilung über das Substrat zu verstehen.
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