Das GaN-Substratdefekt-Inspektionssystem verwendet eine zerstörungsfreie optische Inspektion, um Defekte in Galliumnitrid (GaN)-Substraten zu identifizieren und zu charakterisieren und unterstützt so die Bewertung der Materialqualität und die Prozessentwicklung. Das System ist mit 2-, 4- und 6-Zoll-GaN-Substraten kompatibel und erkennt eine Reihe von Defekten, darunter Gewindeversetzungen, Stapelfehler, Inversionsdomänen, Korngrenzen, V-Pits, Hohlräume und Risse, und hilft Benutzern, Defekttypen und deren Verteilung über das Substrat zu verstehen.
Das System bietet eine anpassbare, erweiterbare Erkennungssuite, die für spezifische Materialeigenschaften und Inspektionsanforderungen konfiguriert werden kann. Die gemeinsame Entwicklungs- und Anwendungszusammenarbeit erweitert seine Fähigkeiten, um neue und komplexe Defekttypen anzugehen und den sich entwickelnden Bedarf in der GaN-Materialforschung und -prüfung zu unterstützen.
Das System bietet eine anpassbare, erweiterbare Erkennungssuite, die für spezifische Materialeigenschaften und Inspektionsanforderungen konfiguriert werden kann. Die gemeinsame Entwicklungs- und Anwendungszusammenarbeit erweitert seine Fähigkeiten, um neue und komplexe Defekttypen anzugehen und den sich entwickelnden Bedarf in der GaN-Materialforschung und -prüfung zu unterstützen.
Erkundigen
