O Sistema de Inspeção de Defeitos de Substrato GaN utiliza inspeção óptica não destrutiva para identificar e caracterizar defeitos em substratos de nitreto de gálio (GaN), apoiando a avaliação da qualidade do material e o desenvolvimento de processos. Compatível com substratos GaN de 2, 4 e 6 polegadas, o sistema detecta uma variedade de defeitos, incluindo deslocamentos de rosqueamento, falhas de empilhamento, domínios de inversão, limites de grão, poços em V, vazios e rachaduras, ajudando os usuários a entender os tipos de defeitos e sua distribuição no substrato.
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