El sistema de inspección de defectos de sustrato de GaN utiliza inspección óptica no destructiva para identificar y caracterizar defectos en sustratos de nitruro de galio (GaN), lo que respalda la evaluación de la calidad del material y el desarrollo de procesos. Compatible con sustratos GaN de 2, 4 y 6 pulgadas, el sistema detecta una variedad de defectos, que incluyen dislocaciones de roscas, fallas de apilamiento, dominios de inversión, límites de grano, hoyos en V, huecos y grietas, lo que ayuda a los usuarios a comprender los tipos de defectos y su distribución en el sustrato.
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