GaN 기판 결함 검사 시스템은 비파괴 광학 검사를 사용하여 질화갈륨(GaN) 기판의 결함을 식별하고 특성화하여 재료 품질 평가 및 공정 개발을 지원합니다. 2인치, 4인치 및 6인치 GaN 기판과 호환되는 이 시스템은 스레딩 전위, 적층 결함, 반전 도메인, 결정 경계, V-피트, 보이드 및 균열을 포함한 다양한 결함을 감지하여 사용자가 결함 유형과 기판 전체의 분포를 이해하는 데 도움을 줍니다.
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