ระบบตรวจสอบข้อบกพร่องของพื้นผิว GaN ใช้การตรวจสอบด้วยแสงแบบไม่ทำลายเพื่อระบุและระบุลักษณะข้อบกพร่องในซับสเตรตแกลเลียมไนไตรด์ (GaN) ซึ่งสนับสนุนการประเมินคุณภาพวัสดุและการพัฒนากระบวนการ ใช้งานได้กับซับสเตรต GaN ขนาด 2, 4 และ 6 นิ้ว โดยระบบจะตรวจจับข้อบกพร่องได้หลากหลาย รวมถึงความคลาดเคลื่อนของเกลียว ข้อบกพร่องในการซ้อน โดเมนผกผัน ขอบเขตเกรน หลุมรูปตัว V ช่องว่าง และรอยแตก ช่วยให้ผู้ใช้เข้าใจประเภทของข้อบกพร่องและการกระจายของพวกมันทั่วทั้งซับสเตรต
สอบถาม