SPESIFIKASI
Tahap penundaan optik presisi
| Kecepatan | 30mm/detik |
| Resolusi minimal | 0,1 mikron |
| Akurasi reposisi | <2 mikrom |
Detektor
APLIKASI
PUBLIKASI
UNDUH
SPESIFIKASI
Tahap penundaan optik presisi
| Kecepatan | 30mm/detik |
| Resolusi minimal | 0,1 mikron |
| Akurasi reposisi | <2 mikrom |
Detektor
APLIKASI
PUBLIKASI
UNDUH