Das integrierte Inline-Fehlerinspektionssystem für Perowskit-Photovoltaik ist für die Qualitätskontrolle bei der kontinuierlichen Produktion großflächiger Dünnschichten, Zellen und Module konzipiert. Durch die Integration von Photolumineszenz (PL), Elektrolumineszenz (EL) und automatisierter optischer Inspektion (AOI) unterstützt das Inline-System sowohl Zeilen- als auch Flächenscan-Bildgebung und kann entsprechend den Probenabmessungen, Prozessphasen und Produktionszykluszeiten konfiguriert werden, sodass eine Vollflächenprüfung in kritischen Fertigungsphasen möglich ist. Durch die Analyse der Lumineszenzintensität und der räumlichen Verteilung neben Hell- und Dunkelfeldbildern identifiziert das System Filmungleichmäßigkeiten, dunkle Flecken, Risse, Oberflächenanomalien und lokalisierte elektrische Ausfälle. KI-Algorithmen bieten Fehleranmerkungen, Klassifizierung und statistische Analysen, während die Fehlerverfolgung über Prozessstufen hinweg dabei hilft, den Ursprung von Anomalien zu erkennen. Diese Funktionen unterstützen Bemühungen, zu verhindern, dass fehlerhafte Produkte in nachfolgende Vorgänge gelangen, die Konsistenz von Charge zu Charge zu verbessern und Herstellungsprozesse zu optimieren.
Erkundigen
