Unsere Produkte

Wissenschaftliche Forschung

Von transienter Absorption bis hin zu Fluoreszenz und nichtlinearer Spektroskopie und darüber hinaus bietet TTS hochgradig anpassbare, hochmoderne modulare Produkte, die Ihre Forschung unterstützen.

Modulare Ausrüstung für die transiente Absorptionsspektroskopie

Versetzungsprüfsystem für Halbleiter mit großer Bandlücke

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Inspektion von Halbleitermaterialien

Das weltweit erste optische, zerstörungsfreie Versetzungsinspektionssystem für SiC-Wafer, -Boules und Impfkristalle sowie ein großflächiges Perowskit-Inspektionssystem und mehr. TTS definiert den Inspektionsworkflow für Halbleiterhersteller neu und setzt einen neuen Standard in Präzision und Effizienz.

Neueste Nachrichten und Updates

Die zerstörungsfreie Inspektionstechnologie für Versetzungsfehler unterstützt die Untersuchung des Wachstumsmechanismus von Versetzungsfehlern in SiC-Kristallen

Versetzungsdefekte in SiC-Wafern wie TSD, TED und BPD schränken die Geräteausbeute und -zuverlässigkeit entscheidend ein, während ihre Wachstumsmechanismen noch unzureichend verstanden sind. Diese Arbeit stellt eine schnelle, zerstörungsfreie Inspektionsmethode vor, die auf transienter Absorptionsspektroskopie und KI-Algorithmen zur genauen Fehlererkennung und -klassifizierung basiert. Die Studie deckt unterschiedliche Wachstumsmodi von Gewindeversetzungen auf und identifiziert Transformationsbeziehungen zwischen Versetzungen und Basalebenendefekten. Diese Erkenntnisse liefern neue Einblicke in das SiC-Kristallwachstum und unterstützen eine verbesserte Defektkontrolle und Waferqualität in der Halbleiterfertigung.

TTS führt umfassendes Upgrade des SiC-Wafer-Minority-Carrier-Lifetime-Imaging-Systems – TAU-9000 – ein

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Durch die Bereitstellung innovativer, zuverlässiger und skalierbarer Lösungen ermöglichen wir Branchen, beispiellose Präzision und Effizienz zu erreichen und so den Fortschritt in Forschung und Fertigung weltweit voranzutreiben.

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