Spektrometer Penyerapan Automatik Y300 untuk Wafer SiC Separa Penebat direka untuk kawalan kualiti pengeluaran substrat optik AR. Ia menyepadukan ukuran pemancaran, pemantulan, penyerapan, indeks biasan dan jerebu dalam satu sistem, menyediakan data yang boleh dipercayai untuk menilai prestasi optik dan ketekalan wafer SiC gred optik. Meliputi julat hampir ultraungu hingga 370–800 nm yang boleh dilihat, Y300 memuatkan wafer 6-, 8-, dan 12-inci dan juga menyokong bahan lutsinar lain, termasuk kaca, polimer dan silika bercantum.
Y300 menggunakan seni bina tiga spektrometer yang disegerakkan untuk memperoleh data pemancaran dan pemantulan serta mengira penyerapan. Pampasan rujukan masa nyata dan penentukuran automatik dinamik wafer demi wafer meminimumkan kesan turun naik sumber cahaya dan hanyutan alam sekitar, memberikan kebolehulangan pengukuran kurang daripada 0.02%. Pengukuran berbilang titik dan pengimejan wafer penuh mendedahkan variasi spatial dalam sifat optik, penyaringan bahan sokongan, pengoptimuman proses dan pemeriksaan kualiti keluar.
Untuk pengeluaran berterusan, Y300 menggabungkan sistem pengendalian wafer automatik tanpa hubungan dengan peringkat sampel mendatar, memberikan daya pemprosesan kira-kira 60 wafer sejam. Ia berintegrasi dengan talian automasi semikonduktor dan menyokong operasi tanpa pengawasan sepanjang masa. Dengan menggabungkan pencirian optik yang boleh berulang dengan pemeriksaan automatik, Y300 membantu pengeluar meningkatkan ketekalan kualiti dan kecekapan pemeriksaan untuk substrat optik AR.
Y300 menggunakan seni bina tiga spektrometer yang disegerakkan untuk memperoleh data pemancaran dan pemantulan serta mengira penyerapan. Pampasan rujukan masa nyata dan penentukuran automatik dinamik wafer demi wafer meminimumkan kesan turun naik sumber cahaya dan hanyutan alam sekitar, memberikan kebolehulangan pengukuran kurang daripada 0.02%. Pengukuran berbilang titik dan pengimejan wafer penuh mendedahkan variasi spatial dalam sifat optik, penyaringan bahan sokongan, pengoptimuman proses dan pemeriksaan kualiti keluar.
Untuk pengeluaran berterusan, Y300 menggabungkan sistem pengendalian wafer automatik tanpa hubungan dengan peringkat sampel mendatar, memberikan daya pemprosesan kira-kira 60 wafer sejam. Ia berintegrasi dengan talian automasi semikonduktor dan menyokong operasi tanpa pengawasan sepanjang masa. Dengan menggabungkan pencirian optik yang boleh berulang dengan pemeriksaan automatik, Y300 membantu pengeluar meningkatkan ketekalan kualiti dan kecekapan pemeriksaan untuk substrat optik AR.
Tanya
