ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ស្រូបទាញដោយស្វ័យប្រវត្តិ Y300 សម្រាប់ពាក់កណ្តាលអ៊ីសូឡង់ SiC Wafers ត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងគុណភាពផលិតកម្មនៃស្រទាប់ខាងក្រោមអុបទិក AR ។ វារួមបញ្ចូលការបញ្ជូន ការឆ្លុះបញ្ចាំង ការស្រូបយក សន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ និងការវាស់វែងអ័ព្ទនៅក្នុងប្រព័ន្ធមួយ ដោយផ្តល់នូវទិន្នន័យដែលអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ការវាយតម្លៃដំណើរការអុបទិក និងភាពស៊ីសង្វាក់នៃអុបទិក wafers SiC ថ្នាក់ទី។ គ្របដណ្ដប់លើកាំរស្មីអ៊ុលត្រាវីយូឡេដែលអាចមើលឃើញពី 370-800 nm, Y300 ផ្ទុកនូវ wafers ទំហំ 6-, 8-, និង 12-inch ហើយថែមទាំងគាំទ្រសម្ភារៈថ្លាផ្សេងទៀត រួមទាំងកញ្ចក់ ប៉ូលីម៊ែរ និងស៊ីលីកាដែលលាយបញ្ចូលគ្នាផងដែរ។
Y300 ប្រើស្ថាបត្យកម្ម spectrometer បីដែលធ្វើសមកាលកម្ម ដើម្បីទទួលបានទិន្នន័យបញ្ជូន និងការឆ្លុះបញ្ចាំង និងគណនាការស្រូបយក។ សំណងយោងតាមពេលវេលាជាក់ស្តែង និងការក្រិតតាមខ្នាតស្វ័យប្រវត្តិថាមវន្ត wafer-by-wafer កាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់នៃការប្រែប្រួលនៃប្រភពពន្លឺ និងការរសាត់បរិស្ថាន ដោយផ្តល់នូវការវាស់វែងឡើងវិញតិចជាង 0.02% ។ ការវាស់វែងពហុចំណុច និងការថតរូបភាពពេញលេញបង្ហាញពីការប្រែប្រួលនៃលំហនៅក្នុងលក្ខណៈសម្បត្តិអុបទិក ការគាំទ្រការបញ្ចាំងសម្ភារៈ ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការ និងការត្រួតពិនិត្យគុណភាពចេញ។
សម្រាប់ការផលិតជាបន្ត Y300 រួមបញ្ចូលគ្នានូវប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រង wafer ដោយស្វ័យប្រវត្តិដែលមិនទាក់ទងជាមួយដំណាក់កាលគំរូផ្តេកដោយផ្តល់នូវលំហូរប្រហែល 60 wafers ក្នុងមួយម៉ោង។ វារួមបញ្ចូលជាមួយបន្ទាត់ស្វ័យប្រវត្តិកម្ម semiconductor និងគាំទ្រប្រតិបត្តិការដែលមិនមានការយកចិត្តទុកដាក់ជុំវិញនាឡិកា។ ដោយរួមបញ្ចូលគ្នានូវលក្ខណៈអុបទិកដែលអាចធ្វើម្តងទៀតបានខ្ពស់ជាមួយនឹងការត្រួតពិនិត្យដោយស្វ័យប្រវត្តិ Y300 ជួយអ្នកផលិតធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវគុណភាព និងប្រសិទ្ធភាពនៃការត្រួតពិនិត្យសម្រាប់ស្រទាប់ខាងក្រោមអុបទិក AR ។
Y300 ប្រើស្ថាបត្យកម្ម spectrometer បីដែលធ្វើសមកាលកម្ម ដើម្បីទទួលបានទិន្នន័យបញ្ជូន និងការឆ្លុះបញ្ចាំង និងគណនាការស្រូបយក។ សំណងយោងតាមពេលវេលាជាក់ស្តែង និងការក្រិតតាមខ្នាតស្វ័យប្រវត្តិថាមវន្ត wafer-by-wafer កាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់នៃការប្រែប្រួលនៃប្រភពពន្លឺ និងការរសាត់បរិស្ថាន ដោយផ្តល់នូវការវាស់វែងឡើងវិញតិចជាង 0.02% ។ ការវាស់វែងពហុចំណុច និងការថតរូបភាពពេញលេញបង្ហាញពីការប្រែប្រួលនៃលំហនៅក្នុងលក្ខណៈសម្បត្តិអុបទិក ការគាំទ្រការបញ្ចាំងសម្ភារៈ ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការ និងការត្រួតពិនិត្យគុណភាពចេញ។
សម្រាប់ការផលិតជាបន្ត Y300 រួមបញ្ចូលគ្នានូវប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រង wafer ដោយស្វ័យប្រវត្តិដែលមិនទាក់ទងជាមួយដំណាក់កាលគំរូផ្តេកដោយផ្តល់នូវលំហូរប្រហែល 60 wafers ក្នុងមួយម៉ោង។ វារួមបញ្ចូលជាមួយបន្ទាត់ស្វ័យប្រវត្តិកម្ម semiconductor និងគាំទ្រប្រតិបត្តិការដែលមិនមានការយកចិត្តទុកដាក់ជុំវិញនាឡិកា។ ដោយរួមបញ្ចូលគ្នានូវលក្ខណៈអុបទិកដែលអាចធ្វើម្តងទៀតបានខ្ពស់ជាមួយនឹងការត្រួតពិនិត្យដោយស្វ័យប្រវត្តិ Y300 ជួយអ្នកផលិតធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវគុណភាព និងប្រសិទ្ធភាពនៃការត្រួតពិនិត្យសម្រាប់ស្រទាប់ខាងក្រោមអុបទិក AR ។
សាកសួរ
