สเปกโตรมิเตอร์การดูดซึมอัตโนมัติ Y300 สำหรับเวเฟอร์ SiC กึ่งฉนวน ได้รับการออกแบบมาเพื่อการควบคุมคุณภาพการผลิตของซับสเตรตแบบออปติก AR โดยผสานรวมการวัดการส่งผ่าน การสะท้อน การดูดกลืนแสง ดัชนีการหักเหของแสง และหมอกควันในระบบเดียว โดยให้ข้อมูลที่เชื่อถือได้สำหรับการประเมินประสิทธิภาพด้านแสงและความสม่ำเสมอของเวเฟอร์ SiC เกรดออปติคัล Y300 ครอบคลุมรังสีอัลตราไวโอเลตใกล้ถึงช่วงที่มองเห็นได้ 370–800 นาโนเมตร รองรับเวเฟอร์ขนาด 6, 8 และ 12 นิ้ว และยังรองรับวัสดุโปร่งใสอื่นๆ รวมถึงแก้ว โพลีเมอร์ และซิลิกาหลอมละลาย
Y300 ใช้สถาปัตยกรรมสามสเปกโตรมิเตอร์ที่ซิงโครไนซ์เพื่อรับข้อมูลการส่งผ่านและการสะท้อนกลับ และคำนวณค่าการดูดกลืนแสง การชดเชยการอ้างอิงแบบเรียลไทม์และการสอบเทียบอัตโนมัติแบบไดนามิกแบบเวเฟอร์ต่อเวเฟอร์ช่วยลดผลกระทบจากความผันผวนของแหล่งกำเนิดแสงและการเบี่ยงเบนของสภาพแวดล้อม ทำให้มีความสามารถในการทำซ้ำการวัดน้อยกว่า 0.02% การวัดแบบหลายจุดและการถ่ายภาพแบบเต็มเวเฟอร์เผยให้เห็นความแปรผันเชิงพื้นที่ในคุณสมบัติทางแสง รองรับการคัดกรองวัสดุ การเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการ และการตรวจสอบคุณภาพขาออก
สำหรับการผลิตต่อเนื่อง Y300 ได้รวมระบบการจัดการเวเฟอร์อัตโนมัติแบบไม่สัมผัสเข้ากับขั้นตอนตัวอย่างแนวนอน โดยให้ปริมาณงานประมาณ 60 เวเฟอร์ต่อชั่วโมง โดยผสานรวมกับสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อัตโนมัติและรองรับการทำงานแบบอัตโนมัติตลอดเวลา ด้วยการรวมคุณลักษณะทางแสงที่สามารถทำซ้ำได้สูงเข้ากับการตรวจสอบอัตโนมัติ Y300 ช่วยให้ผู้ผลิตปรับปรุงความสม่ำเสมอของคุณภาพและประสิทธิภาพการตรวจสอบสำหรับพื้นผิวแสง AR
Y300 ใช้สถาปัตยกรรมสามสเปกโตรมิเตอร์ที่ซิงโครไนซ์เพื่อรับข้อมูลการส่งผ่านและการสะท้อนกลับ และคำนวณค่าการดูดกลืนแสง การชดเชยการอ้างอิงแบบเรียลไทม์และการสอบเทียบอัตโนมัติแบบไดนามิกแบบเวเฟอร์ต่อเวเฟอร์ช่วยลดผลกระทบจากความผันผวนของแหล่งกำเนิดแสงและการเบี่ยงเบนของสภาพแวดล้อม ทำให้มีความสามารถในการทำซ้ำการวัดน้อยกว่า 0.02% การวัดแบบหลายจุดและการถ่ายภาพแบบเต็มเวเฟอร์เผยให้เห็นความแปรผันเชิงพื้นที่ในคุณสมบัติทางแสง รองรับการคัดกรองวัสดุ การเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการ และการตรวจสอบคุณภาพขาออก
สำหรับการผลิตต่อเนื่อง Y300 ได้รวมระบบการจัดการเวเฟอร์อัตโนมัติแบบไม่สัมผัสเข้ากับขั้นตอนตัวอย่างแนวนอน โดยให้ปริมาณงานประมาณ 60 เวเฟอร์ต่อชั่วโมง โดยผสานรวมกับสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อัตโนมัติและรองรับการทำงานแบบอัตโนมัติตลอดเวลา ด้วยการรวมคุณลักษณะทางแสงที่สามารถทำซ้ำได้สูงเข้ากับการตรวจสอบอัตโนมัติ Y300 ช่วยให้ผู้ผลิตปรับปรุงความสม่ำเสมอของคุณภาพและประสิทธิภาพการตรวจสอบสำหรับพื้นผิวแสง AR
สอบถาม
