banner-sản phẩm
Máy quang phổ hấp thụ tự động Y300 cho tấm SiC bán cách điện
Máy quang phổ hấp thụ tự động Y300 cho tấm SiC bán cách điện
Máy quang phổ hấp thụ tự động Y300 dành cho tấm SiC bán cách điện được thiết kế để kiểm soát chất lượng sản xuất của chất nền quang AR. Nó tích hợp các phép đo độ truyền qua, độ phản xạ, độ hấp thụ, chỉ số khúc xạ và độ mù trong một hệ thống, cung cấp dữ liệu đáng tin cậy để đánh giá hiệu suất quang học và tính nhất quán của tấm bán dẫn SiC cấp quang học. Bao phủ phạm vi từ vùng cực tím đến vùng khả kiến ​​là 370–800 nm, Y300 chứa các tấm wafer 6, 8 và 12 inch, đồng thời hỗ trợ các vật liệu trong suốt khác, bao gồm thủy tinh, polyme và silica nung chảy.

Y300 sử dụng kiến ​​trúc ba quang phổ kế đồng bộ để thu thập dữ liệu độ truyền qua và phản xạ cũng như tính toán độ hấp thụ. Bù tham chiếu thời gian thực và hiệu chuẩn động tự động theo từng tấm wafer giảm thiểu tác động của sự dao động nguồn sáng và độ lệch môi trường, mang lại độ lặp lại phép đo dưới 0,02%. Phép đo đa điểm và chụp ảnh toàn bộ tấm bán dẫn cho thấy sự khác biệt về không gian trong các đặc tính quang học, hỗ trợ sàng lọc vật liệu, tối ưu hóa quy trình và kiểm tra chất lượng đầu ra.

Để sản xuất liên tục, Y300 kết hợp hệ thống xử lý tấm bán dẫn tự động không tiếp xúc với bệ mẫu nằm ngang, mang lại công suất khoảng 60 tấm bán dẫn mỗi giờ. Nó tích hợp với các dây chuyền tự động hóa bán dẫn và hỗ trợ hoạt động không cần giám sát suốt ngày đêm. Bằng cách kết hợp đặc tính quang học có độ lặp lại cao với kiểm tra tự động, Y300 giúp nhà sản xuất cải thiện tính nhất quán về chất lượng và hiệu quả kiểm tra đối với chất nền quang học AR.
hỏi thăm

Đặc trưng

01

Độ lặp lại đo lường: <0,02%

02

Thông lượng: ~60 WPH

03

EFEM không tiếp xúc

04

Đo chỉ số khúc xạ & khói mù

Thông số kỹ thuật

Nguyên vật liệu Chất nền quang học SiC; Tương thích với các vật liệu trong suốt khác
Kích thước bánh xốp 6', 8' và 12'
Thông số đo lường Độ truyền qua, độ phản xạ, độ hấp thụ, chỉ số khúc xạ và khói mù
Vùng phủ sóng quang phổ 370nm–800nm
Thông lượng kiểm tra ~60 WPH
Độ lặp lại <0,02%
Khả năng quét Đo đa điểm và chụp ảnh toàn tấm wafer

Ví dụ

① Độ lặp lại phép đo cực cao: Độ lặp lại độ hấp thụ của wafer tốt hơn 0,02%

Độ hấp thụ wafer lặp lại
  • Ở ba bước sóng đại diện, độ biến thiên độ truyền qua và độ phản xạ là <0,01% và độ biến thiên độ hấp thụ là <0,02%.
  • Hệ thống Y-300 vượt trội đáng kể so với tiêu chuẩn độ chính xác chung của ngành là 0,1%.

② Độ ổn định lâu dài: Giám sát liên tục sự biến đổi độ hấp thụ trong 7 ngày

Giám sát liên tục 7 ngày về sự thay đổi độ hấp thụ
  • Thử nghiệm lại định kỳ 7 ngày, với việc nạp lại mẫu cho mỗi lần đo, cho thấy độ biến thiên độ hấp thụ dưới 0,02%.
  • Y300 mang lại độ ổn định đo lường lâu dài và độ lặp lại mẫu tuyệt vời.
Bằng cách cung cấp các giải pháp đổi mới, đáng tin cậy và có thể mở rộng, chúng tôi hỗ trợ các ngành đạt được độ chính xác và hiệu quả vượt trội, thúc đẩy tiến bộ trong nghiên cứu và sản xuất trên toàn thế giới.
Bản quyền © 2025 Time Tech Spectra. Mọi quyền được bảo lưu.| Sơ đồ trang web | Chính sách bảo mật