El espectrómetro de absorción automático Y300 para obleas de SiC semiaislantes está diseñado para el control de calidad de la producción de sustratos ópticos AR. Integra mediciones de transmitancia, reflectancia, absorbancia, índice de refracción y turbidez en un solo sistema, proporcionando datos confiables para evaluar el rendimiento óptico y la consistencia de las obleas de SiC de grado óptico. Cubriendo el rango casi ultravioleta al visible de 370 a 800 nm, Y300 admite obleas de 6, 8 y 12 pulgadas y también admite otros materiales transparentes, incluidos vidrio, polímeros y sílice fundida.
Y300 utiliza una arquitectura sincronizada de tres espectrómetros para adquirir datos de transmitancia y reflectancia y calcular la absorbancia. La compensación de referencia en tiempo real y la calibración automática dinámica oblea por oblea minimizan los efectos de las fluctuaciones de la fuente de luz y la deriva ambiental, brindando una repetibilidad de las mediciones de menos del 0,02 %. La medición multipunto y la obtención de imágenes de oblea completa revelan variaciones espaciales en las propiedades ópticas, lo que respalda el cribado de materiales, la optimización de procesos y la inspección de calidad saliente.
Para una producción continua, Y300 combina un sistema de manipulación de obleas automatizado sin contacto con una etapa de muestra horizontal, lo que ofrece un rendimiento de aproximadamente 60 obleas por hora. Se integra con líneas de automatización de semiconductores y admite el funcionamiento sin supervisión las 24 horas del día. Al combinar una caracterización óptica altamente repetible con una inspección automatizada, Y300 ayuda a los fabricantes a mejorar la consistencia de la calidad y la eficiencia de la inspección de sustratos ópticos AR.
Y300 utiliza una arquitectura sincronizada de tres espectrómetros para adquirir datos de transmitancia y reflectancia y calcular la absorbancia. La compensación de referencia en tiempo real y la calibración automática dinámica oblea por oblea minimizan los efectos de las fluctuaciones de la fuente de luz y la deriva ambiental, brindando una repetibilidad de las mediciones de menos del 0,02 %. La medición multipunto y la obtención de imágenes de oblea completa revelan variaciones espaciales en las propiedades ópticas, lo que respalda el cribado de materiales, la optimización de procesos y la inspección de calidad saliente.
Para una producción continua, Y300 combina un sistema de manipulación de obleas automatizado sin contacto con una etapa de muestra horizontal, lo que ofrece un rendimiento de aproximadamente 60 obleas por hora. Se integra con líneas de automatización de semiconductores y admite el funcionamiento sin supervisión las 24 horas del día. Al combinar una caracterización óptica altamente repetible con una inspección automatizada, Y300 ayuda a los fabricantes a mejorar la consistencia de la calidad y la eficiencia de la inspección de sustratos ópticos AR.
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