Spektrometer Penyerapan Otomatis Y300 untuk Wafer SiC Semi-Insulasi dirancang untuk kontrol kualitas produksi substrat optik AR. Ini mengintegrasikan transmisi, reflektansi, absorptansi, indeks bias, dan pengukuran kabut dalam satu sistem, memberikan data yang andal untuk mengevaluasi kinerja optik dan konsistensi wafer SiC tingkat optik. Meliputi rentang ultraviolet dekat hingga rentang tampak 370–800 nm, Y300 mengakomodasi wafer berukuran 6, 8, dan 12 inci dan juga mendukung bahan transparan lainnya, termasuk kaca, polimer, dan silika leburan.
Y300 menggunakan arsitektur tiga spektrometer tersinkronisasi untuk memperoleh data transmitansi dan reflektansi serta menghitung absorptansi. Kompensasi referensi waktu nyata dan kalibrasi otomatis dinamis wafer demi wafer meminimalkan efek fluktuasi sumber cahaya dan penyimpangan lingkungan, sehingga menghasilkan pengulangan pengukuran kurang dari 0,02%. Pengukuran multi-titik dan pencitraan wafer penuh mengungkap variasi spasial dalam sifat optik, penyaringan material pendukung, optimalisasi proses, dan pemeriksaan kualitas keluar.
Untuk produksi berkelanjutan, Y300 menggabungkan sistem penanganan wafer otomatis non-kontak dengan tahap sampel horizontal, menghasilkan keluaran sekitar 60 wafer per jam. Ini terintegrasi dengan jalur otomasi semikonduktor dan mendukung pengoperasian tanpa pengawasan sepanjang waktu. Dengan menggabungkan karakterisasi optik yang sangat berulang dengan inspeksi otomatis, Y300 membantu produsen meningkatkan konsistensi kualitas dan efisiensi inspeksi untuk substrat optik AR.
Y300 menggunakan arsitektur tiga spektrometer tersinkronisasi untuk memperoleh data transmitansi dan reflektansi serta menghitung absorptansi. Kompensasi referensi waktu nyata dan kalibrasi otomatis dinamis wafer demi wafer meminimalkan efek fluktuasi sumber cahaya dan penyimpangan lingkungan, sehingga menghasilkan pengulangan pengukuran kurang dari 0,02%. Pengukuran multi-titik dan pencitraan wafer penuh mengungkap variasi spasial dalam sifat optik, penyaringan material pendukung, optimalisasi proses, dan pemeriksaan kualitas keluar.
Untuk produksi berkelanjutan, Y300 menggabungkan sistem penanganan wafer otomatis non-kontak dengan tahap sampel horizontal, menghasilkan keluaran sekitar 60 wafer per jam. Ini terintegrasi dengan jalur otomasi semikonduktor dan mendukung pengoperasian tanpa pengawasan sepanjang waktu. Dengan menggabungkan karakterisasi optik yang sangat berulang dengan inspeksi otomatis, Y300 membantu produsen meningkatkan konsistensi kualitas dan efisiensi inspeksi untuk substrat optik AR.
Menanyakan
