반절연 SiC 웨이퍼용 Y300 자동 흡수 분광계는 AR 광학 기판의 생산 품질 관리를 위해 설계되었습니다. 투과율, 반사율, 흡수율, 굴절률 및 헤이즈 측정을 하나의 시스템에 통합하여 광학 등급 SiC 웨이퍼의 광학 성능 및 일관성을 평가하기 위한 신뢰할 수 있는 데이터를 제공합니다. 근자외선부터 가시광선(370~800nm)까지 커버하는 Y300은 6인치, 8인치, 12인치 웨이퍼를 수용할 수 있으며 유리, 폴리머, 용융 실리카 등 기타 투명 소재도 지원합니다.
Y300은 동기화된 3분광계 아키텍처를 사용하여 투과율 및 반사율 데이터를 수집하고 흡수율을 계산합니다. 실시간 기준 보상 및 웨이퍼별 동적 자동 보정은 광원 변동 및 환경 드리프트의 영향을 최소화하여 0.02% 미만의 측정 반복성을 제공합니다. 다중 지점 측정 및 전체 웨이퍼 이미징은 광학 특성의 공간적 변화를 드러내고 재료 스크리닝, 공정 최적화 및 출고 품질 검사를 지원합니다.
지속적인 생산을 위해 Y300은 비접촉 자동 웨이퍼 처리 시스템과 수평 샘플 스테이지를 결합하여 시간당 약 60개의 웨이퍼 처리량을 제공합니다. 반도체 자동화 라인과 통합되어 24시간 무인운전을 지원합니다. 반복성이 뛰어난 광학 특성화와 자동 검사를 결합한 Y300은 제조업체가 AR 광학 기판의 품질 일관성과 검사 효율성을 향상하는 데 도움이 됩니다.
Y300은 동기화된 3분광계 아키텍처를 사용하여 투과율 및 반사율 데이터를 수집하고 흡수율을 계산합니다. 실시간 기준 보상 및 웨이퍼별 동적 자동 보정은 광원 변동 및 환경 드리프트의 영향을 최소화하여 0.02% 미만의 측정 반복성을 제공합니다. 다중 지점 측정 및 전체 웨이퍼 이미징은 광학 특성의 공간적 변화를 드러내고 재료 스크리닝, 공정 최적화 및 출고 품질 검사를 지원합니다.
지속적인 생산을 위해 Y300은 비접촉 자동 웨이퍼 처리 시스템과 수평 샘플 스테이지를 결합하여 시간당 약 60개의 웨이퍼 처리량을 제공합니다. 반도체 자동화 라인과 통합되어 24시간 무인운전을 지원합니다. 반복성이 뛰어난 광학 특성화와 자동 검사를 결합한 Y300은 제조업체가 AR 광학 기판의 품질 일관성과 검사 효율성을 향상하는 데 도움이 됩니다.
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