O espectrômetro de absorção automática Y300 para wafers de SiC semi-isolantes foi projetado para controle de qualidade de produção de substratos ópticos AR. Ele integra medições de transmitância, refletância, absortância, índice de refração e neblina em um sistema, fornecendo dados confiáveis para avaliar o desempenho óptico e a consistência de wafers de SiC de grau óptico. Cobrindo a faixa quase ultravioleta a visível de 370–800 nm, o Y300 acomoda wafers de 6, 8 e 12 polegadas e também suporta outros materiais transparentes, incluindo vidro, polímeros e sílica fundida.
O Y300 usa uma arquitetura sincronizada de três espectrômetros para adquirir dados de transmitância e refletância e calcular a absortância. A compensação de referência em tempo real e a calibração automática dinâmica wafer por wafer minimizam os efeitos das flutuações da fonte de luz e do desvio ambiental, proporcionando repetibilidade de medição inferior a 0,02%. A medição multiponto e a imagem full-wafer revelam variações espaciais nas propriedades ópticas, apoiando a triagem de materiais, otimização de processos e inspeção de qualidade de saída.
Para produção contínua, o Y300 combina um sistema automatizado de manuseio de wafers sem contato com um estágio de amostra horizontal, proporcionando um rendimento de aproximadamente 60 wafers por hora. Ele se integra a linhas de automação de semicondutores e suporta operação autônoma 24 horas por dia. Ao combinar caracterização óptica altamente repetível com inspeção automatizada, o Y300 ajuda os fabricantes a melhorar a consistência da qualidade e a eficiência da inspeção para substratos ópticos de AR.
O Y300 usa uma arquitetura sincronizada de três espectrômetros para adquirir dados de transmitância e refletância e calcular a absortância. A compensação de referência em tempo real e a calibração automática dinâmica wafer por wafer minimizam os efeitos das flutuações da fonte de luz e do desvio ambiental, proporcionando repetibilidade de medição inferior a 0,02%. A medição multiponto e a imagem full-wafer revelam variações espaciais nas propriedades ópticas, apoiando a triagem de materiais, otimização de processos e inspeção de qualidade de saída.
Para produção contínua, o Y300 combina um sistema automatizado de manuseio de wafers sem contato com um estágio de amostra horizontal, proporcionando um rendimento de aproximadamente 60 wafers por hora. Ele se integra a linhas de automação de semicondutores e suporta operação autônoma 24 horas por dia. Ao combinar caracterização óptica altamente repetível com inspeção automatizada, o Y300 ajuda os fabricantes a melhorar a consistência da qualidade e a eficiência da inspeção para substratos ópticos de AR.
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