SL-9000 ialah sistem pemeriksaan optik tidak merosakkan untuk substrat semikonduktor kompaun, direka terutamanya untuk indium phosphide (InP), dengan kebolehskalaan kepada gallium arsenide (GaAs). Sesuai untuk kedua-dua substrat konduktif dan separa penebat, imej sistem dan peta kehelan benang dan kecacatan kekisi lain untuk menyokong penilaian kualiti substrat dan pengoptimuman proses.
Menggunakan pelindapkejutan photoluminescence (PL) akibat kecacatan, SL-9000 mendedahkan ciri mikroskopik dan taburan ruang kehelan melalui variasi dalam keamatan luminescence, tanpa goresan kimia yang merosakkan. Untuk substrat InP, kedalaman pemeriksaan adalah lebih kurang 1-3 μm di bawah permukaan. Kajian perbandingan ke atas sampel InP yang didop sulfur dan didop besi menunjukkan kesesuaian yang baik antara kehelan yang dipetakan secara optik dan hasil pemeriksaan lubang etsa.
Dilengkapi dengan sistem analisis AI dan serasi dengan pemeriksaan medan terang dan medan gelap, SL-9000 juga menyokong penilaian kecacatan permukaan, termasuk calar, zarah dan pencemaran. Menggabungkan pemeriksaan tidak merosakkan dengan pengukuran yang cekap, ia menyokong penyelidikan substrat semikonduktor kompaun, pembuatan dan kawalan kualiti.
Menggunakan pelindapkejutan photoluminescence (PL) akibat kecacatan, SL-9000 mendedahkan ciri mikroskopik dan taburan ruang kehelan melalui variasi dalam keamatan luminescence, tanpa goresan kimia yang merosakkan. Untuk substrat InP, kedalaman pemeriksaan adalah lebih kurang 1-3 μm di bawah permukaan. Kajian perbandingan ke atas sampel InP yang didop sulfur dan didop besi menunjukkan kesesuaian yang baik antara kehelan yang dipetakan secara optik dan hasil pemeriksaan lubang etsa.
Dilengkapi dengan sistem analisis AI dan serasi dengan pemeriksaan medan terang dan medan gelap, SL-9000 juga menyokong penilaian kecacatan permukaan, termasuk calar, zarah dan pencemaran. Menggabungkan pemeriksaan tidak merosakkan dengan pengukuran yang cekap, ia menyokong penyelidikan substrat semikonduktor kompaun, pembuatan dan kawalan kualiti.
Tanya
