SL-9000은 화합물 반도체 기판의 비파괴 광학 결함 검사 시스템입니다. 주로 인듐 인화물(InP) 기판용으로 설계되었으며 갈륨 비소(GaAs) 기판 검사에도 적용할 수 있습니다. 시스템은 전도성 및 반절연 기판 모두에서 스레딩 전위 및 기타 격자 결함을 이미지화하고 매핑하여 기판 품질 평가 및 공정 최적화를 위한 데이터를 제공합니다.
SL-9000은 AI 분석 시스템을 갖추고 있으며 긁힘, 입자, 오염 등 표면 결함에 대한 정보를 기판 품질 평가에 통합할 수 있습니다. 효율적인 비파괴 검사 기능은 화합물 반도체 기판의 개발, 제조 및 품질 관리를 지원합니다.
SL-9000은 AI 분석 시스템을 갖추고 있으며 긁힘, 입자, 오염 등 표면 결함에 대한 정보를 기판 품질 평가에 통합할 수 있습니다. 효율적인 비파괴 검사 기능은 화합물 반도체 기판의 개발, 제조 및 품질 관리를 지원합니다.
묻다