SL-9000은 주로 인듐인화물(InP)을 위해 설계되었으며 갈륨비소(GaAs)까지 확장 가능한 화합물 반도체 기판용 비파괴 광학 검사 시스템입니다. 전도성 기판과 반절연 기판 모두에 적합한 시스템은 기판 품질 평가 및 공정 최적화를 지원하기 위해 스레딩 전위 및 기타 격자 결함을 이미지화하고 매핑합니다.
결함 유발 광발광(PL) 담금질을 사용하는 SL-9000은 파괴적인 화학적 에칭 없이 발광 강도의 변화를 통해 전위의 미세한 특징과 공간 분포를 드러냅니다. InP 기판의 경우 검사 깊이는 표면 아래 약 1~3μm입니다. 황 도핑된 InP 샘플과 철 도핑된 InP 샘플에 대한 비교 연구는 광학적으로 매핑된 전위와 에칭 피트 검사 결과 사이의 우수한 일치성을 보여줍니다.
AI 분석 시스템을 갖추고 명시야 및 암시야 검사와 호환되는 SL-9000은 긁힘, 입자, 오염 등 표면 결함 평가도 지원합니다. 비파괴 검사와 효율적인 측정을 결합하여 화합물 반도체 기판 연구, 제조 및 품질 관리를 지원합니다.
결함 유발 광발광(PL) 담금질을 사용하는 SL-9000은 파괴적인 화학적 에칭 없이 발광 강도의 변화를 통해 전위의 미세한 특징과 공간 분포를 드러냅니다. InP 기판의 경우 검사 깊이는 표면 아래 약 1~3μm입니다. 황 도핑된 InP 샘플과 철 도핑된 InP 샘플에 대한 비교 연구는 광학적으로 매핑된 전위와 에칭 피트 검사 결과 사이의 우수한 일치성을 보여줍니다.
AI 분석 시스템을 갖추고 명시야 및 암시야 검사와 호환되는 SL-9000은 긁힘, 입자, 오염 등 표면 결함 평가도 지원합니다. 비파괴 검사와 효율적인 측정을 결합하여 화합물 반도체 기판 연구, 제조 및 품질 관리를 지원합니다.
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