Das SL-9000 ist ein zerstörungsfreies optisches Defektprüfsystem für Verbindungshalbleitersubstrate. Es wurde hauptsächlich für Indiumphosphid-Substrate (InP) entwickelt und kann auch für die Inspektion von Galliumarsenid-Substraten (GaAs) angepasst werden. Das System bildet Gewindeversetzungen und andere Gitterdefekte sowohl in leitfähigen als auch halbisolierenden Substraten ab und kartiert sie und liefert Daten für die Bewertung der Substratqualität und die Prozessoptimierung.
Der SL-9000 verfügt über ein KI-Analysesystem und kann Informationen zu Oberflächendefekten, einschließlich Kratzern, Partikeln und Verunreinigungen, in die Beurteilung der Substratqualität einbeziehen. Seine effizienten, zerstörungsfreien Prüffunktionen unterstützen die Entwicklung, Herstellung und Qualitätskontrolle von Verbindungshalbleitersubstraten.
Der SL-9000 verfügt über ein KI-Analysesystem und kann Informationen zu Oberflächendefekten, einschließlich Kratzern, Partikeln und Verunreinigungen, in die Beurteilung der Substratqualität einbeziehen. Seine effizienten, zerstörungsfreien Prüffunktionen unterstützen die Entwicklung, Herstellung und Qualitätskontrolle von Verbindungshalbleitersubstraten.
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