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Sistema de inspeção de defeitos de substrato SL-9000 InP/GaAs
Sistema de inspeção de defeitos de substrato SL-9000 InP/GaAs
O SL-9000 é um sistema de inspeção de defeitos ópticos não destrutivo para substratos semicondutores compostos. Projetado principalmente para substratos de fosfeto de índio (InP), também pode ser adaptado para inspecionar substratos de arsenieto de gálio (GaAs). O sistema cria imagens e mapeia deslocamentos de rosqueamento e outros defeitos de rede em substratos condutores e semi-isolantes, fornecendo dados para avaliação da qualidade do substrato e otimização de processos.

O SL-9000 possui um sistema de análise de IA e pode incorporar informações sobre defeitos superficiais, incluindo arranhões, partículas e contaminação, em avaliações de qualidade do substrato. Seus recursos de inspeção eficientes e não destrutivos apoiam o desenvolvimento, a fabricação e o controle de qualidade de substratos semicondutores compostos.
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Características

01

Não Destrutivo

02

Alto rendimento

03

Alta precisão

Especificações

Materiais Substratos InP (Dopados com S / Dopados com Fe); Substratos GaAs (dopados com Si)
Tamanhos de wafer 2', 3', 4' e 6'
Taxa de transferência de inspeção 4 WPH @ 6'
Tipos de defeitos Luxações de rosqueamento, arranhões e outros defeitos
Ao fornecer soluções inovadoras, confiáveis ​​e escaláveis, capacitamos as indústrias a alcançar precisão e eficiência incomparáveis, impulsionando o progresso na pesquisa e na fabricação em todo o mundo.
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