El SL-9000 es un sistema de inspección óptica no destructivo para sustratos semiconductores compuestos, diseñado principalmente para fosfuro de indio (InP), con escalabilidad a arseniuro de galio (GaAs). Adecuado tanto para sustratos conductores como semiaislantes, el sistema genera imágenes y mapea dislocaciones de roscas y otros defectos de la red para respaldar la evaluación de la calidad del sustrato y la optimización del proceso.
Utilizando la extinción de fotoluminiscencia (PL) inducida por defectos, el SL-9000 revela las características microscópicas y la distribución espacial de las dislocaciones a través de variaciones en la intensidad de la luminiscencia, sin grabado químico destructivo. Para sustratos de InP, la profundidad de inspección es de aproximadamente 1 a 3 μm por debajo de la superficie. Los estudios comparativos sobre muestras de InP dopadas con azufre y con hierro muestran una buena correspondencia entre las dislocaciones mapeadas ópticamente y los resultados de la inspección del pozo de grabado.
Equipado con un sistema de análisis de IA y compatible con inspección de campo brillante y campo oscuro, el SL-9000 también admite la evaluación de defectos de la superficie, incluidos rayones, partículas y contaminación. Al combinar la inspección no destructiva con una medición eficiente, respalda la investigación, la fabricación y el control de calidad de sustratos semiconductores compuestos.
Utilizando la extinción de fotoluminiscencia (PL) inducida por defectos, el SL-9000 revela las características microscópicas y la distribución espacial de las dislocaciones a través de variaciones en la intensidad de la luminiscencia, sin grabado químico destructivo. Para sustratos de InP, la profundidad de inspección es de aproximadamente 1 a 3 μm por debajo de la superficie. Los estudios comparativos sobre muestras de InP dopadas con azufre y con hierro muestran una buena correspondencia entre las dislocaciones mapeadas ópticamente y los resultados de la inspección del pozo de grabado.
Equipado con un sistema de análisis de IA y compatible con inspección de campo brillante y campo oscuro, el SL-9000 también admite la evaluación de defectos de la superficie, incluidos rayones, partículas y contaminación. Al combinar la inspección no destructiva con una medición eficiente, respalda la investigación, la fabricación y el control de calidad de sustratos semiconductores compuestos.
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