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TAU-9000 システムは、ポンプ・プローブベースの超高速過渡分光イメージングを採用し、ウェーハの少数キャリア寿命の高い時間的および空間的分解能の特性評価を実現します。光生成されたキャリアはポンプ光によって励起され、その減衰ダイナミクスが時間分解イメージングによって測定されるため、転位、点欠陥、表面汚染がキャリアの寿命に及ぼす影響を正確に評価できるようになり、ウェーハ全体の品質が反映されます。