TAU-9000/9000HR Alat Pengimejan Seumur Hidup Pembawa Wafer SiC Resolusi Tinggi menggunakan pengimejan spektroskopi yang diselesaikan masa untuk mencirikan substrat SiC dan wafer epitaxial. Ia menyokong kelayakan bahan, pemeriksaan pengeluaran dan R&D, menyediakan data pengukuran untuk kawalan kualiti, pengoptimuman proses dan analisis kecacatan.
Alat ini menyokong kedua-dua pemetaan wafer penuh dan pengimejan mikroskopik setempat. Dalam mod wafer penuh, ia mencapai resolusi spatial 100 μm untuk mencirikan pengagihan seumur hidup pembawa minoriti dan keseragaman. Ia memuatkan wafer 6-, 8-, dan 12 inci, dengan masa pengukuran kurang daripada 10 minit setiap wafer 6 inci. Dalam mod mikroskopik, resolusi spatial mencapai 0.9 μm, membolehkan visualisasi variasi seumur hidup yang dikaitkan dengan kehelan benang dan kerosakan susun. Resolusi temporal <2 ns membolehkan pencirian kedua-dua substrat jangka hayat pendek dan lapisan epitaxial.
Pengujaan 355 nm dan 266 nm boleh tukar membolehkan pengekstrakan bebas dan pemetaan hayat pembawa minoriti pukal dan halaju penggabungan semula permukaan. Alat ini menyokong pengukuran automatik sepenuhnya, dengan ruang sampel yang dibersihkan nitrogen atau vakum pilihan untuk meminimumkan gangguan alam sekitar dan memelihara keadaan permukaan sampel. Modul kawalan suhu pilihan yang merangkumi suhu bilik hingga 200°C membolehkan pengukuran sepanjang hayat bergantung kepada suhu untuk menyiasat mekanisme penggabungan semula pembawa dan ciri keadaan perangkap.
Alat ini menyokong kedua-dua pemetaan wafer penuh dan pengimejan mikroskopik setempat. Dalam mod wafer penuh, ia mencapai resolusi spatial 100 μm untuk mencirikan pengagihan seumur hidup pembawa minoriti dan keseragaman. Ia memuatkan wafer 6-, 8-, dan 12 inci, dengan masa pengukuran kurang daripada 10 minit setiap wafer 6 inci. Dalam mod mikroskopik, resolusi spatial mencapai 0.9 μm, membolehkan visualisasi variasi seumur hidup yang dikaitkan dengan kehelan benang dan kerosakan susun. Resolusi temporal <2 ns membolehkan pencirian kedua-dua substrat jangka hayat pendek dan lapisan epitaxial.
Pengujaan 355 nm dan 266 nm boleh tukar membolehkan pengekstrakan bebas dan pemetaan hayat pembawa minoriti pukal dan halaju penggabungan semula permukaan. Alat ini menyokong pengukuran automatik sepenuhnya, dengan ruang sampel yang dibersihkan nitrogen atau vakum pilihan untuk meminimumkan gangguan alam sekitar dan memelihara keadaan permukaan sampel. Modul kawalan suhu pilihan yang merangkumi suhu bilik hingga 200°C membolehkan pengukuran sepanjang hayat bergantung kepada suhu untuk menyiasat mekanisme penggabungan semula pembawa dan ciri keadaan perangkap.
Tanya
