TAU-9000/9000HR เครื่องมือสร้างภาพอายุการใช้งานของผู้ให้บริการภาพส่วนน้อยของเวเฟอร์อีปิแอกเชียลความละเอียดสูง

ข้อมูลที่มีอยู่

1 การถ่ายภาพเฉพาะจุดของเวเฟอร์อีปิแอกเซียลที่ความละเอียดเชิงพื้นที่ 0.9 ไมโครเมตร

โหมดการถ่ายภาพความละเอียดสูงช่วยให้มองเห็นข้อบกพร่องได้โดยตรง รวมถึง TD และ SF และแยกอายุการใช้งานพาหะส่วนน้อยได้โดยตรง อายุการใช้งานของผู้ให้บริการรายย่อยในพื้นที่ SF นั้นสั้นกว่าอายุการใช้งานในพื้นที่ปกติ

2 การสร้างภาพการกระจายอายุการใช้งานของผู้ให้บริการรายย่อยสำหรับเวเฟอร์อีปิแอกเซียลทั่วไปที่มีความหนาต่างกัน

เข้ากันได้กับข้อกำหนดในการตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์เอพิแทกเซียลที่มีความหนาต่างกัน ระบบเดียวครอบคลุมสถานการณ์กระบวนการที่หลากหลายตั้งแต่การวิจัยและพัฒนาไปจนถึงการผลิตจำนวนมาก ช่วยให้ลูกค้าสร้างมาตรฐานการประเมินคุณภาพที่เป็นหนึ่งเดียว ลดการลงทุนอุปกรณ์ และปรับปรุงประสิทธิภาพด้านการวิจัยและพัฒนาและการผลิต

3 รองรับการถ่ายภาพอายุการใช้งานของผู้ให้บริการรายย่อยของพื้นผิว

อุปกรณ์ของเราช่วยให้สามารถตรวจวัดอายุการใช้งานของสารพาหะรายย่อยของซับสเตรตได้ จึงสนับสนุนการประเมินคุณภาพวัสดุ การเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการ และการปรับปรุงผลผลิต

④ การแก้ปัญหาอายุการใช้งานแบบเทกองและพาหะของพื้นผิวสำหรับ Epi-Layers แบบหนาผ่านการกระตุ้น 355 นาโนเมตรและ 266 นาโนเมตร

ด้วยการแยกการแมปอายุการใช้งานที่ได้รับที่ 266 นาโนเมตรและ 355 นาโนเมตร ระบบจะจัดเตรียมรูปภาพที่แยกจากกันของอายุการใช้งานของผู้ให้บริการรายย่อยจำนวนมากและความเร็วการรวมตัวใหม่ของพื้นผิว นำเสนอข้อมูลเชิงลึกที่ลึกซึ้งยิ่งขึ้นเกี่ยวกับการประเมินคุณภาพวัสดุ

⑤ การวัดอายุการใช้งานของผู้ให้บริการรายย่อยที่อุณหภูมิต่างกัน

เมื่อเปรียบเทียบกับอุณหภูมิห้อง อายุการใช้งานของพาหะรายย่อยจะยาวนานขึ้นที่ 175 °C และการกระจายตัวของสารก็เปลี่ยนแปลงไปด้วย