TAU-9000/9000HR គុណភាពបង្ហាញខ្ពស់ SiC Wafer Minority Carrier ឧបករណ៍រូបភាពពេញមួយជីវិត ប្រើប្រាស់រូបភាពវិសាលគមដែលបានដោះស្រាយពេលវេលាដើម្បីកំណត់លក្ខណៈស្រទាប់ខាងក្រោម SiC និង wafers epitaxial ។ វាគាំទ្រគុណវុឌ្ឍិសម្ភារៈ ការត្រួតពិនិត្យផលិតកម្ម និង R&D ដោយផ្តល់នូវទិន្នន័យរង្វាស់សម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យគុណភាព ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការ និងការវិភាគពិការភាព។
ឧបករណ៍ទាំងនេះគាំទ្រទាំងការគូសផែនទីពេញលេញ និងរូបភាពមីក្រូទស្សន៍ដែលបានធ្វើមូលដ្ឋានីយកម្ម។ នៅក្នុងរបៀប wafer ពេញលេញ វាសម្រេចបាននូវដំណោះស្រាយទំហំ 100 μm ដើម្បីកំណត់លក្ខណៈនៃការចែកចាយពេញមួយជីវិត និងឯកសណ្ឋាននៃក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនជនជាតិភាគតិច។ វាផ្ទុក wafers 6-, 8-, និង 12-inch ជាមួយនឹងដងវាស់តិចជាង 10 នាទីក្នុងមួយ wafer 6-inch ។ នៅក្នុងរបៀបមីក្រូទស្សន៍ គុណភាពបង្ហាញទំហំឈានដល់ 0.9 μm ដែលអនុញ្ញាតឱ្យការមើលឃើញនៃការប្រែប្រួលពេញមួយជីវិតដែលត្រូវបានផ្សារភ្ជាប់ជាមួយនឹងការផ្លាស់ទីលំនៅរបស់ខ្សែស្រឡាយ និងកំហុសក្នុងការជង់។ ដំណោះស្រាយបណ្តោះអាសន្ននៃ <2 ns អនុញ្ញាតឱ្យកំណត់លក្ខណៈនៃស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានអាយុកាលខ្លី និងស្រទាប់ epitaxial ។
ភាពរំជើបរំជួល 355 nm និង 266 nm ដែលអាចផ្លាស់ប្តូរបាន អនុញ្ញាតឱ្យទាញយកឯករាជ្យ និងការធ្វើផែនទីនៃអាយុកាលនៃក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនជនជាតិភាគតិចភាគច្រើន និងល្បឿននៃការផ្សំឡើងវិញលើផ្ទៃ។ ឧបករណ៍ទាំងនេះគាំទ្រការវាស់វែងដោយស្វ័យប្រវត្តិយ៉ាងពេញលេញ ជាមួយនឹងបន្ទប់សំណាកសំណាកអាសូត ឬបូមធូលីស្រេចចិត្ត ដើម្បីកាត់បន្ថយការរំខានដល់បរិស្ថាន និងរក្សាលក្ខខណ្ឌផ្ទៃគំរូ។ ម៉ូឌុលត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាពស្រេចចិត្តដែលលាតសន្ធឹងសីតុណ្ហភាពក្នុងបន្ទប់ដល់ 200°C អនុញ្ញាតការវាស់វែងពេញមួយជីវិតអាស្រ័យលើសីតុណ្ហភាពសម្រាប់ការស៊ើបអង្កេតយន្តការនៃការផ្សំឡើងវិញរបស់ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន និងលក្ខណៈនៃស្ថានភាពអន្ទាក់។
ឧបករណ៍ទាំងនេះគាំទ្រទាំងការគូសផែនទីពេញលេញ និងរូបភាពមីក្រូទស្សន៍ដែលបានធ្វើមូលដ្ឋានីយកម្ម។ នៅក្នុងរបៀប wafer ពេញលេញ វាសម្រេចបាននូវដំណោះស្រាយទំហំ 100 μm ដើម្បីកំណត់លក្ខណៈនៃការចែកចាយពេញមួយជីវិត និងឯកសណ្ឋាននៃក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនជនជាតិភាគតិច។ វាផ្ទុក wafers 6-, 8-, និង 12-inch ជាមួយនឹងដងវាស់តិចជាង 10 នាទីក្នុងមួយ wafer 6-inch ។ នៅក្នុងរបៀបមីក្រូទស្សន៍ គុណភាពបង្ហាញទំហំឈានដល់ 0.9 μm ដែលអនុញ្ញាតឱ្យការមើលឃើញនៃការប្រែប្រួលពេញមួយជីវិតដែលត្រូវបានផ្សារភ្ជាប់ជាមួយនឹងការផ្លាស់ទីលំនៅរបស់ខ្សែស្រឡាយ និងកំហុសក្នុងការជង់។ ដំណោះស្រាយបណ្តោះអាសន្ននៃ <2 ns អនុញ្ញាតឱ្យកំណត់លក្ខណៈនៃស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានអាយុកាលខ្លី និងស្រទាប់ epitaxial ។
ភាពរំជើបរំជួល 355 nm និង 266 nm ដែលអាចផ្លាស់ប្តូរបាន អនុញ្ញាតឱ្យទាញយកឯករាជ្យ និងការធ្វើផែនទីនៃអាយុកាលនៃក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនជនជាតិភាគតិចភាគច្រើន និងល្បឿននៃការផ្សំឡើងវិញលើផ្ទៃ។ ឧបករណ៍ទាំងនេះគាំទ្រការវាស់វែងដោយស្វ័យប្រវត្តិយ៉ាងពេញលេញ ជាមួយនឹងបន្ទប់សំណាកសំណាកអាសូត ឬបូមធូលីស្រេចចិត្ត ដើម្បីកាត់បន្ថយការរំខានដល់បរិស្ថាន និងរក្សាលក្ខខណ្ឌផ្ទៃគំរូ។ ម៉ូឌុលត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាពស្រេចចិត្តដែលលាតសន្ធឹងសីតុណ្ហភាពក្នុងបន្ទប់ដល់ 200°C អនុញ្ញាតការវាស់វែងពេញមួយជីវិតអាស្រ័យលើសីតុណ្ហភាពសម្រាប់ការស៊ើបអង្កេតយន្តការនៃការផ្សំឡើងវិញរបស់ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន និងលក្ខណៈនៃស្ថានភាពអន្ទាក់។
សាកសួរ
