Las herramientas de imágenes de por vida de portadores minoritarios de obleas de SiC de alta resolución TAU-9000/9000HR utilizan imágenes espectroscópicas de resolución temporal para caracterizar sustratos de SiC y obleas epitaxiales. Apoya la calificación de materiales, la inspección de producción y la I+D, proporcionando datos de medición para el control de calidad, la optimización de procesos y el análisis de defectos.
Estas herramientas admiten tanto el mapeo de oblea completa como la obtención de imágenes microscópicas localizadas. En modo de oblea completa, logra una resolución espacial de 100 μm para caracterizar la uniformidad y la distribución de la vida útil de los portadores minoritarios. Tiene capacidad para obleas de 6, 8 y 12 pulgadas, con tiempos de medición de menos de 10 minutos por oblea de 6 pulgadas. En modo microscópico, la resolución espacial alcanza 0,9 μm, lo que permite la visualización de variaciones de vida asociadas con dislocaciones de roscas y fallas de apilamiento. Una resolución temporal de <2 ns permite la caracterización tanto de sustratos de vida corta como de capas epitaxiales.
La excitación conmutable de 355 nm y 266 nm permite la extracción y el mapeo independientes de la vida útil de los portadores minoritarios en masa y la velocidad de recombinación de la superficie. Estas herramientas admiten mediciones totalmente automatizadas, con cámaras de muestra al vacío o purgadas con nitrógeno opcionales para minimizar la interferencia ambiental y preservar las condiciones de la superficie de la muestra. Un módulo de control de temperatura opcional que abarca la temperatura ambiente hasta 200 °C permite realizar mediciones de vida útil dependientes de la temperatura para investigar los mecanismos de recombinación de portadores y las características del estado de trampa.
Estas herramientas admiten tanto el mapeo de oblea completa como la obtención de imágenes microscópicas localizadas. En modo de oblea completa, logra una resolución espacial de 100 μm para caracterizar la uniformidad y la distribución de la vida útil de los portadores minoritarios. Tiene capacidad para obleas de 6, 8 y 12 pulgadas, con tiempos de medición de menos de 10 minutos por oblea de 6 pulgadas. En modo microscópico, la resolución espacial alcanza 0,9 μm, lo que permite la visualización de variaciones de vida asociadas con dislocaciones de roscas y fallas de apilamiento. Una resolución temporal de <2 ns permite la caracterización tanto de sustratos de vida corta como de capas epitaxiales.
La excitación conmutable de 355 nm y 266 nm permite la extracción y el mapeo independientes de la vida útil de los portadores minoritarios en masa y la velocidad de recombinación de la superficie. Estas herramientas admiten mediciones totalmente automatizadas, con cámaras de muestra al vacío o purgadas con nitrógeno opcionales para minimizar la interferencia ambiental y preservar las condiciones de la superficie de la muestra. Un módulo de control de temperatura opcional que abarca la temperatura ambiente hasta 200 °C permite realizar mediciones de vida útil dependientes de la temperatura para investigar los mecanismos de recombinación de portadores y las características del estado de trampa.
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