El sistema de inspección óptica no destructiva totalmente automatizado DISPEC-9000 caracteriza los defectos de dislocación en obleas de sustrato de SiC tipo N. Combina identificación de defectos, análisis de densidad y mapeo espacial para respaldar el control de calidad del material, la inspección de producción y la optimización de procesos.
El sistema admite la inspección tanto de la cara Si como de la cara C y admite obleas de 6, 8 y 12 pulgadas. El rendimiento de la inspección es de 4 a 5 obleas por hora para obleas de 6 pulgadas, de 2 a 3 obleas por hora para obleas de 8 pulgadas y 1 oblea por hora para obleas de 12 pulgadas. Una sola medición captura simultáneamente señales de dislocaciones del borde de roscado (TED), dislocaciones de tornillo de roscado (TSD) y dislocaciones del plano basal (BPD). El sistema también admite la detección de fallas de apilamiento (SF), microtubos (MP), inclusiones de carbono, defectos heterocristalinos y otros tipos de defectos, lo que permite la evaluación de defectos en múltiples tamaños de obleas de sustrato.
La identificación de defectos y el análisis de densidad asistido por IA, junto con el análisis de defectos definido por el usuario, permiten que el sistema produzca imágenes ópticas y mapas de densidad de defectos simultáneamente, revelando las características de los defectos y su distribución en la oblea. Las pruebas comparativas muestran una estrecha concordancia con la topografía de rayos X (XRT) para la detección de TSD y con el grabado con KOH para la detección de TED y BPD. Las mediciones repetidas en el mismo instrumento y las comparaciones entre instrumentos también demuestran una buena repetibilidad y reproducibilidad.
El sistema admite la inspección tanto de la cara Si como de la cara C y admite obleas de 6, 8 y 12 pulgadas. El rendimiento de la inspección es de 4 a 5 obleas por hora para obleas de 6 pulgadas, de 2 a 3 obleas por hora para obleas de 8 pulgadas y 1 oblea por hora para obleas de 12 pulgadas. Una sola medición captura simultáneamente señales de dislocaciones del borde de roscado (TED), dislocaciones de tornillo de roscado (TSD) y dislocaciones del plano basal (BPD). El sistema también admite la detección de fallas de apilamiento (SF), microtubos (MP), inclusiones de carbono, defectos heterocristalinos y otros tipos de defectos, lo que permite la evaluación de defectos en múltiples tamaños de obleas de sustrato.
La identificación de defectos y el análisis de densidad asistido por IA, junto con el análisis de defectos definido por el usuario, permiten que el sistema produzca imágenes ópticas y mapas de densidad de defectos simultáneamente, revelando las características de los defectos y su distribución en la oblea. Las pruebas comparativas muestran una estrecha concordancia con la topografía de rayos X (XRT) para la detección de TSD y con el grabado con KOH para la detección de TED y BPD. Las mediciones repetidas en el mismo instrumento y las comparaciones entre instrumentos también demuestran una buena repetibilidad y reproducibilidad.
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