TAU‑9000 시스템은 펌프 프로브 기반 초고속 과도 분광학 이미징을 사용하여 웨이퍼 소수 캐리어 수명의 높은 시간적 및 공간적 분해능 특성을 달성합니다. 광생성 캐리어는 펌프 광에 의해 여기되고, 붕괴 역학은 시간 분해 이미징을 통해 측정되어 캐리어 수명에 대한 전위, 점 결함 및 표면 오염의 영향을 정확하게 평가할 수 있어 전체 웨이퍼 품질을 반영할 수 있습니다.
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- 과도 흡수 시리즈
- TA AUTO/MINI - 초고속 TAS
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- LFP100 - 플래시 광분해
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- UPSI100 - 펌프-프로브 그림자 그래프 이미징
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- THZ100 - 테라헤르츠
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- TA AUTO/MINI - 초고속 TAS
- 형광 분광학 시리즈
- TPL300 - 정상 상태/일과성 형광
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- 와이드 밴드갭 반도체 종합 특성화 시스템
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- UF100 - 초고속 형광
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- FLIM300 - 공초점 형광 평생 이미징 현미경
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- TPL300 - 정상 상태/일과성 형광
- 비선형 광학 시리즈
- ZTS100 - Z-스캔
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- SHG100 - 2차 고조파 생성
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- ZTS100 - Z-스캔
- 고속 CMOS 카메라 시리즈
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- 레이저 시리즈
- FlatTop DPSS ND:YAG 나노초 레이저
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- FlatTop-OPO DPSS YAG-OPO 레이저
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- 반도체 광학 검사 시리즈
- DISPEC-9000 SiC 기판 웨이퍼
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- DISPEC-8000 SiC 기판/시드/부울
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- SiCM-9000 SiC Epi 캐리어 수명 이미징
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- SP-1030 페로브스카이트 태양전지 성능 분석
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- DISPEC-9000 SiC 기판 웨이퍼
- 광 파라메트릭 발진기/증폭기
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- 조정 가능한 나노초 펄스 염료 레이저
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- FlatTop DPSS ND:YAG 나노초 레이저
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