THÔNG SỐ KỸ THUẬT
Giai đoạn trễ quang học chính xác
| Tốc độ | 30 mm/giây |
| Độ phân giải tối thiểu | 0,1 mm |
| Định vị lại độ chính xác | < 2 mm |
Máy dò
Giai đoạn trễ quang học chính xác
| Tốc độ | 30 mm/giây |
| Độ phân giải tối thiểu | 0,1 mm |
| Định vị lại độ chính xác | < 2 mm |
Máy dò