Các sản phẩm

Hệ thống TAU‑9000 sử dụng hình ảnh quang phổ chuyển tiếp cực nhanh dựa trên đầu dò bơm để đạt được đặc tính có độ phân giải không gian và thời gian cao trong thời gian tồn tại của chất mang thiểu số wafer. Các chất mang được quang hóa bị kích thích bởi ánh sáng bơm và động lực phân rã của chúng được đo thông qua hình ảnh được giải quyết theo thời gian, cho phép đánh giá chính xác tác động của sai lệch, khuyết điểm và ô nhiễm bề mặt đối với tuổi thọ của chất mang, từ đó phản ánh chất lượng wafer tổng thể.