SN-9000 là hệ thống kiểm tra quang học không phá hủy đối với chất nền β-Ga₂O₃ và tấm wafer epiticular. Được thiết kế cho cả vật liệu loại dẫn điện và vật liệu pha tạp không chủ ý (UID), nó kết hợp độ chính xác và hiệu quả cao với việc kiểm tra lớp nền và lớp epiticular tích hợp để hỗ trợ đánh giá chất lượng vật liệu và tối ưu hóa quy trình.
Để kiểm tra chất nền, SN-9000 xác định các sai lệch trên nhiều hướng tinh thể, cũng như các khoảng trống, vết bẩn và vết trầy xước. Việc phát hiện sai lệch tuyến tính [010] của nó đã được xác nhận chéo dựa trên XRT. Để kiểm tra tấm wafer epiticular, hệ thống ghi lại một loạt các khuyết tật về hình thái và cung cấp khả năng nhận dạng khuyết tật có thể tùy chỉnh để đáp ứng các yêu cầu kiểm tra khác nhau.
Với độ chính xác khớp vị trí khuyết tật là 1 μm, SN-9000 cho phép tương quan chính xác các khuyết tật giữa lớp nền và lớp epiticular. Khả năng này giúp người dùng theo dõi sự lan truyền khuyết tật từ lớp nền đến lớp epiticular, điều tra nguyên nhân gốc rễ và tinh chỉnh các quy trình nền và epit Wax. Hệ thống chứa các mẫu 1 × 1 cm và các tấm wafer 2, 4, 6 và 8 inch. Đối với các tấm bán dẫn 2 inch, tốc độ kiểm tra vượt quá 4 tấm bán dẫn mỗi giờ đối với chất nền và 12 tấm bán dẫn mỗi giờ đối với các tấm bán dẫn epiticular.
Để kiểm tra chất nền, SN-9000 xác định các sai lệch trên nhiều hướng tinh thể, cũng như các khoảng trống, vết bẩn và vết trầy xước. Việc phát hiện sai lệch tuyến tính [010] của nó đã được xác nhận chéo dựa trên XRT. Để kiểm tra tấm wafer epiticular, hệ thống ghi lại một loạt các khuyết tật về hình thái và cung cấp khả năng nhận dạng khuyết tật có thể tùy chỉnh để đáp ứng các yêu cầu kiểm tra khác nhau.
Với độ chính xác khớp vị trí khuyết tật là 1 μm, SN-9000 cho phép tương quan chính xác các khuyết tật giữa lớp nền và lớp epiticular. Khả năng này giúp người dùng theo dõi sự lan truyền khuyết tật từ lớp nền đến lớp epiticular, điều tra nguyên nhân gốc rễ và tinh chỉnh các quy trình nền và epit Wax. Hệ thống chứa các mẫu 1 × 1 cm và các tấm wafer 2, 4, 6 và 8 inch. Đối với các tấm bán dẫn 2 inch, tốc độ kiểm tra vượt quá 4 tấm bán dẫn mỗi giờ đối với chất nền và 12 tấm bán dẫn mỗi giờ đối với các tấm bán dẫn epiticular.
hỏi thăm
