SN-9000 คือระบบตรวจสอบด้วยแสงแบบไม่ทำลายสำหรับซับสเตรต β-Ga₂O₃ และเวเฟอร์เอพิแอกเซียล ออกแบบมาสำหรับทั้งวัสดุที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าและวัสดุเจือโดยไม่ได้ตั้งใจ (UID) โดยผสมผสานความแม่นยำและประสิทธิภาพสูงเข้ากับการตรวจสอบซับสเตรตและชั้นเอปิแอกเซียลแบบบูรณาการ เพื่อรองรับการประเมินคุณภาพวัสดุและการเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการ
สำหรับการตรวจสอบซับสเตรต SN-9000 จะระบุความคลาดเคลื่อนในการวางแนวคริสตัลหลายแนว รวมถึงช่องว่าง การปนเปื้อน และรอยขีดข่วน การตรวจจับความคลาดเคลื่อนเชิงเส้น [010] ได้รับการตรวจสอบความถูกต้องข้ามกับ XRT สำหรับการตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์แบบเอปิเทกเซียล ระบบจะจับข้อบกพร่องทางสัณฐานวิทยาต่างๆ และนำเสนอการจดจำข้อบกพร่องที่ปรับแต่งได้เพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดการตรวจสอบที่แตกต่างกัน
ด้วยความแม่นยำในการจับคู่ตำแหน่งข้อบกพร่องที่ 1 μm ทำให้ SN-9000 ช่วยให้เกิดความสัมพันธ์ที่แม่นยำของข้อบกพร่องระหว่างซับสเตรตและชั้นเอปิแอกเชียล ความสามารถนี้ช่วยให้ผู้ใช้ติดตามการแพร่กระจายของข้อบกพร่องจากซับสเตรตไปยังชั้นเอปิแทกเซียล ตรวจสอบสาเหตุที่แท้จริง และปรับปรุงกระบวนการของซับสเตรตและเอพิทาซี ระบบรองรับตัวอย่างขนาด 1 × 1 ซม. และเวเฟอร์ขนาด 2, 4, 6 และ 8 นิ้ว สำหรับเวเฟอร์ขนาด 2 นิ้ว ปริมาณงานการตรวจสอบจะเกิน 4 เวเฟอร์ต่อชั่วโมงสำหรับซับสเตรต และ 12 เวเฟอร์ต่อชั่วโมงสำหรับเวเฟอร์เอพิเทเชียล
สำหรับการตรวจสอบซับสเตรต SN-9000 จะระบุความคลาดเคลื่อนในการวางแนวคริสตัลหลายแนว รวมถึงช่องว่าง การปนเปื้อน และรอยขีดข่วน การตรวจจับความคลาดเคลื่อนเชิงเส้น [010] ได้รับการตรวจสอบความถูกต้องข้ามกับ XRT สำหรับการตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์แบบเอปิเทกเซียล ระบบจะจับข้อบกพร่องทางสัณฐานวิทยาต่างๆ และนำเสนอการจดจำข้อบกพร่องที่ปรับแต่งได้เพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดการตรวจสอบที่แตกต่างกัน
ด้วยความแม่นยำในการจับคู่ตำแหน่งข้อบกพร่องที่ 1 μm ทำให้ SN-9000 ช่วยให้เกิดความสัมพันธ์ที่แม่นยำของข้อบกพร่องระหว่างซับสเตรตและชั้นเอปิแอกเชียล ความสามารถนี้ช่วยให้ผู้ใช้ติดตามการแพร่กระจายของข้อบกพร่องจากซับสเตรตไปยังชั้นเอปิแทกเซียล ตรวจสอบสาเหตุที่แท้จริง และปรับปรุงกระบวนการของซับสเตรตและเอพิทาซี ระบบรองรับตัวอย่างขนาด 1 × 1 ซม. และเวเฟอร์ขนาด 2, 4, 6 และ 8 นิ้ว สำหรับเวเฟอร์ขนาด 2 นิ้ว ปริมาณงานการตรวจสอบจะเกิน 4 เวเฟอร์ต่อชั่วโมงสำหรับซับสเตรต และ 12 เวเฟอร์ต่อชั่วโมงสำหรับเวเฟอร์เอพิเทเชียล
สอบถาม
