Zスキャンシステム
製品の特徴
精密ステージ: 分解能0.1μm、再現性<2μm。
幅広い検出: 350 ~ 1700nm パワーメーター (50nW ~ 40mW)。
アンチジッター: デュアルチャンネル基準補償。
仕様
精密光学式変位ステージ
パワーディテクタ
応用