ระบบสแกน Z
คุณลักษณะของผลิตภัณฑ์
ระดับความแม่นยำ: ความละเอียด 0.1μm, ความสามารถในการทำซ้ำ <2μm
การตรวจจับแบบกว้าง: มิเตอร์ไฟฟ้า 350-1700nm (50nW-40mW)
Anti-jitter: การชดเชยการอ้างอิงสองช่องสัญญาณ
ข้อมูลจำเพาะ
ระยะการเคลื่อนที่ด้วยแสงที่แม่นยำ
เครื่องตรวจจับพลังงาน
แอปพลิเคชัน