Z 스캔 시스템
제품특징
정밀 스테이지: 0.1μm 분해능, <2μm 반복성.
광범위한 감지: 350-1700nm 전력계(50nW-40mW).
지터 방지: 이중 채널 기준 보상.
명세서
정밀 광학 변위 스테이지
전력 검출기
애플리케이션