| Ketersediaan | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Bahan Diuji: SiC, GaN, Ga203, AlGaN, berlian dan semikonduktor celah jalur lebar/ultra-lebar lain Julat Panjang Gelombang Luas: 206/257/343/515/1030 nm (pensuisan bermotor) (Pengujaan UV dalam hingga 192 nm boleh dicapai berdasarkan 8000nm Komprehensif, Laser Komprehensif 8000nm) SHG, dan pelbagai teknik spektroskopi |
|||||||||
Bahan Diuji: SiC, GaN, Ga203, AlGaN, berlian dan semikonduktor celah jalur lebar/ultra lebar lain
Julat Panjang Gelombang Luas: 206/257/343/515/1030 nm (pensuisan bermotor) (Pengujaan UV dalam hingga 192 nm boleh dicapai berdasarkan laser 800 nm)
Fungsi Komprehensif: Bersepadu PL, Raman, SHG, dan pelbagai teknik spektroskopi
| Ciri-ciri | Pendarfluor keadaan mantap | Pengimejan medan luas, Spektrum Pelepasan PL, PLI, Pengimejan Spektrum PL |
| Pendarfluor Sementara | FLIM (melalui TCSPC) | |
| Berkelajuan Tinggi | Sumber LED | 265, 310, 365 nm (boleh dipilih) |
| Kawasan Pencahayaan Seragam | >1cm² | |
| Resolusi | >1.5 μm/piksel | |
| Kamera | 2048×2048 piksel, 6.5 μm px, 13.31 × 13.31 mm penderia | |
| Sumber Cahaya Pengujaan* | Modul PSH 1030 nm fs-LD | 515 nm, 343 nm, 257 nm, 206 nm Panjang Gelombang (Sehingga 1 MHz frekuensi penalaan) |
| Julat Pengesanan Pengimejan Spektrum (Kamera sCMOS) |
200-1000 nm (menyokong pengimejan UV-Vis-NIR) | |
| Julat Pengesanan Intensiti PL (PMT) |
190-870 nm | |
| Resolusi Spatial |
Resolusi sehingga 500 nm (dengan objektif rendaman minyak 100×) | |
| Modul TCSPC | IRF | ≤300 ps |
| TR | ≤60 ps | |
| Terjemahan Stag | Kapasiti Muatan | 5 kg |
| Jarak Perjalanan** | 30 sm (X,Y)/1.5 sm (Z) | |
| Min. Saiz Langkah | 100 nm | |
| Kelurusan | <4 μm | |
| Kebolehulangan Dwiarah | ±0.3 μm (X,Y); ±0.15 μm (Z) | |
| Standard | Termasuk pemandu dan pengawal dengan keupayaan output isyarat segerak | |
| Sumber Pengujaan | Panjang Gelombang Pengujaan | 532 nm/633 nm/785 nm (Pilihan Lain) |
| Kuasa Pengujaan | >150 mw (532 nm) | |
| Resolusi Spektrum Raman |
<1.5 sm⁻⊃1; (300 mm panjang fokus, 500 nm nyala@1800g/mm) | |
| Resolusi Spatial | Resolusi Paksi | <1 μm@10 μm Lubang jarum; <2 μm@50 μm Lubang jarum |
| Resolusi Lateral | 500 nm (100×Objektif) | |
| Kamera* | Jenis CMOS | BSI sCMOS |
| Julat Pengesanan | 200-1000 nm | |
| Resolusi | 2048×2048 piksel (13.3×13.3 mm penderia) | |
| Panjang Gelombang Pengujaan |
Laser Femtosaat (Laser Picosaat pada 1064 nm pilihan) | |
| Pengesan PMT | Julat Pengesanan | 190-870 nm |
| Modul Pengimbasan Kelajuan Tinggi | Jenis Imbasan | Pengimbasan Peringkat Kelajuan Tinggi yang disegerakkan |
| Min. Saiz Langkah | 50 nm | |
| Kebolehulangan | 250 nm | |
| Kelajuan | 300 mm/s (maks) | |
| Kawalan Polarisasi Pengujaan |
Bermotor | |
| Jenis Mikroskop |
Mikroskop tegak modular boleh dikembangkan | |
| Jenis Sumber Cahaya |
Sistem pencahayaan LED | |
| Mod Pencahayaan |
Pencahayaan episkopik | |
| Konfigurasi Objektif |
5×, 10×, 20×, 40×, 50×, 60×, 100× Objektif rendaman udara/minyak | |
| Modul Autofokus (Pilihan) | Kelajuan Respons | 40 ms |
| Sensitiviti | 200 nm | |
| Jenis Spektrometer |
Czerny-Turner | |
| Panjang Fokus |
200, 300, 500 mm (boleh dipilih) | |
| Serakan Linear Salingan |
2.44 nm/mm @435.84 nm @1200g/mm parut | |
| Mengimbas Resolusi Langkah |
0.02 nm @1200g/mm parut | |
| Resolusi Spektrum | PMT | 0.08 nm |
| CCD (25 μm piksel) | 0.14 nm | |
| Ketepatan Panjang Gelombang |
±0.1 nm (@1200 g/mm) | |
| Kebolehulangan Panjang Gelombang |
0.01 nm (@1200 g/mm) | |
| Penyaman Medan Luaran | Boleh dilanjutkan kepada suhu rendah, tekanan tinggi dan medan magnet luaran |






