테스트 대상 재료: SiC, GaN, Ga2O3, AlGaN, 다이아몬드 및 기타 광폭/초광폭 밴드갭 반도체
넓은 파장 범위: 206/257/343/515/1030nm(전동식 스위칭)(800nm 레이저를 기반으로 최대 192nm까지 깊은 UV 여기 달성 가능)
포괄적인 기능: 통합 PL, Raman, SHG 및 다중 분광 기술
넓은 파장 범위: 206/257/343/515/1030nm(전동식 스위칭)(800nm 레이저를 기반으로 최대 192nm까지 깊은 UV 여기 달성 가능)
포괄적인 기능: 통합 PL, Raman, SHG 및 다중 분광 기술
묻다
제품특징
테스트된 재료: SiC, GaN, Ga2O3, AlGaN, 다이아몬드 및 기타 광폭/초광폭 밴드갭 반도체
넓은 파장 범위: 206/257/343/515/1030nm(전동식 스위칭)(800nm 레이저를 기반으로 192nm까지 깊은 UV 여기 달성 가능)
포괄적인 기능: 통합 PL, Raman, SHG 및 다중 분광 기술
명세서
형광 모듈
| 특징 | 정상 상태 형광 | 광시야 이미징, PL 방출 스펙트럼, PLI, PL 스펙트럼 이미징 |
| 일시적 형광 | FLIM(TCSPC를 통해) | |
| 고속 | LED 소스 | 265, 310, 365nm(선택 가능) |
| 균일한 조명 영역 | >1cm² | |
| 해결 | >1.5μm/픽셀 | |
| 카메라 | 2048×2048 픽셀, 6.5μm px, 13.31×13.31mm 센서 | |
| 여기 광원* | 1030nm fs-LD PSH 모듈 | 515nm, 343nm, 257nm, 206nm 파장(최대 1MHz 튜닝 주파수) |
| 스펙트럼 이미징 감지 범위(sCMOS 카메라) | 200-1000nm(UV-Vis-NIR 이미징 지원) | |
| PL 강도 감지 범위(PMT) | 190-870nm | |
| 공간 해상도 | 최대 500nm 분해능(100× 오일 침지 대물렌즈 사용) | |
| TCSPC 모듈 | IRF | 300ps 이하 |
| TR | 60ps 이하 | |
| 번역 수사슴 | 부하 용량 | 5kg |
| 여행 범위** | 30cm(X,Y)/1.5cm(Z) | |
| 최소 단계 크기 | 100nm | |
| 직진도 | <4μm | |
| 양방향 반복성 | ±0.3μm(X,Y); ±0.15μm(Z) | |
| 기준 | 동기식 신호 출력 기능을 갖춘 드라이버 및 컨트롤러 포함 | |
라만 모듈
| 여기 소스 | 여기 파장 | 532nm/633nm/785nm(기타 옵션) |
| 여기 전력 | >150mw(532nm) | |
| 라만 스펙트럼 분해능 | <1.5cm⁻¹(300mm 초점 거리, 500nm 블레이즈@1800g/mm) | |
| 공간 해상도 | 축 해상도 | <1 μm@10 μm 핀홀; <2 μm@50 μm 핀홀 |
| 측면 해상도 | 500 nm (100×대물렌즈) | |
| 카메라* | CMOS 유형 | BSI sCMOS |
| 감지 범위 | 200-1000nm | |
| 해결 | 2048×2048 픽셀(13.3×13.3mm 센서) | |
SHG 모듈
| 여기 파장 | 펨토초 레이저(1064nm의 피코초 레이저 옵션) | |
| PMT 검출기 | 감지 범위 | 190-870nm |
| 고속 스캐닝 모듈 | 스캔 유형 | 동기화된 고속 스테이지 스캐닝 |
| 최소 단계 크기 | 50nm | |
| 반복성 | 250nm | |
| 속도 | 300mm/s(최대) | |
| 여기 분극 제어 | 전동식 | |
현미경 모듈
| 현미경 유형 | 확장 가능한 모듈형 정립 현미경 | |
| 광원 유형 | LED 조명 시스템 | |
| 조명 모드 | Episcopic 조명 | |
| 목표 구성 | 5×, 10×, 20×, 40×, 50×, 60×, 100× 공기/기름 침지 대물렌즈 | |
| 자동 초점 모듈(옵션) | 응답 속도 | 40ms |
| 감광도 | 200nm | |
분광계 모듈
| 분광계 유형 | 체르니 터너 | |
| 초점 거리 | 200, 300, 500mm(선택 가능) | |
| 상호 선형 분산 | 2.44nm/mm @435.84nm @1200g/mm 격자 | |
| 스캐닝 단계 해상도 | 0.02 nm @1200g/mm 격자 | |
| 스펙트럼 분해능 | 오후 | 0.08nm |
| CCD(25μm 픽셀) | 0.14nm | |
| 파장 정확도 | ±0.1nm(@1200g/mm) | |
| 파장 반복성 | 0.01nm(@1200g/mm) | |
확장 기능
| 외부 필드 컨디셔닝 | 저온, 고압, 외부 자기장까지 확장 가능 |
애플리케이션
