SR-9000 เครื่องมือตรวจสอบข้อบกพร่องออปติคัล SiC Epi-layer แบบไม่ทำลาย

การตรวจสอบข้อบกพร่องความคลาดเคลื่อนในชั้นอีปิแอกเชียล

1. การทำแผนที่ข้อบกพร่องเวเฟอร์แบบเต็ม

ระบบ SR-9000 รองรับการระบุข้อบกพร่องและการสร้างภาพ TSD และ TED ในเวเฟอร์ SiC เอพิแทกเซียล ช่วยให้ผู้ผลิตระบุตำแหน่งของข้อบกพร่องได้อย่างแม่นยำและแยกแยะประเภทข้อบกพร่องได้

2. การตรวจสอบมาตรฐานเทียบกับ XRT

ผลลัพธ์การตรวจจับจากระบบ SR-9000 สอดคล้องกับผลลัพธ์ XRT ซึ่งแสดงให้เห็นว่าระบบสามารถระบุตำแหน่ง การสร้างความแตกต่าง และการแปลตำแหน่ง TSD ในชั้นเอพิแทกเซียลและโครงสร้างอุปกรณ์ของ SiC ได้อย่างแม่นยำ

การตรวจสอบข้อบกพร่องการเคลื่อนที่หลังการเกิดเกตออกไซด์

ความละเอียดเชิงพื้นที่ที่สูงขึ้น

การเคลื่อนตัวภายในชิปมีจำนวนมากและส่งผลต่อความเสถียรในระยะยาว แต่ผู้ผลิตยังขาดข้อมูลนี้ SR-9000 ช่วยแก้ไขปัญหานี้ด้วยการระบุตำแหน่งอย่างแม่นยำภายใต้โครงสร้างที่มีลวดลายผ่านการสร้างภาพที่มีความละเอียดสูงและการแยกส่วนรูปแบบ

ติดตามการเปลี่ยนแปลงของข้อบกพร่องจากพื้นผิวไปเป็นชั้น Epi และอุปกรณ์

การตรวจสอบข้อบกพร่องทั้งสายครอบคลุมซับสเตรต ชั้นเอพิแทกเซียล และกระบวนการผลิตอุปกรณ์ ระบุจุดกำเนิดของข้อบกพร่องได้อย่างแม่นยำในขั้นตอนกระบวนการที่สำคัญ และให้ข้อมูลข้อบกพร่องของการเคลื่อนที่ที่ตรวจสอบย้อนกลับได้ เพื่อรองรับการปรับปรุงผลผลิต