Parameter Sistem
| Julat Perjalanan | 300 mm |
| Tetingkap Masa | 8 ns |
| Resolusi Masa | 14 fs |
| Kelajuan Maksimum | 400 mm/s |
| Jenis Motor Pemacu | Motor Tanpa Brushless DC Linear |
| Masa Penentukuran | 3-5 min |
| Langkah Penentukuran Minimum | 0.1 μm |
| Ketepatan Penentukuran | 0.7 μrad |
| Julat Pelarasan | ±5° |