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Systemparameter
| Reisebereich | 300 mm |
| Zeitfenster | 8 ns |
| Zeitauflösung | 14 fs |
| Höchstgeschwindigkeit | 400 mm/s |
| Antriebsmotortyp | Linearer bürstenloser Gleichstrommotor |
| Kalibrierungszeit | 3-5 Min |
| Minimaler Kalibrierungsschritt | 0,1 μm |
| Kalibrierungsgenauigkeit | 0,7 μrad |
| Einstellbereich | ±5° |