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시스템 매개변수


여행 범위300mm
시간 창8ns 
시간 해상도14초 
최대 속도400mm/초 
구동 모터 유형선형 DC 브러시리스 모터 
교정 시간3~5분
최소 교정 단계 0.1μm 
교정 정확도0.7μrad 
조정 범위±5°


혁신적이고 안정적이며 확장 가능한 솔루션을 제공함으로써 업계가 비교할 수 없는 정밀도와 효율성을 달성할 수 있도록 지원하고 전 세계적으로 연구 및 제조 분야의 발전을 주도합니다.
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