웨이퍼 4~5개/시간(6'), 웨이퍼 2~3개/시간(8')
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| SR-9000은 SiC 에피택셜 웨이퍼 및 칩의 결함 검사 요구 사항을 해결하도록 설계되었습니다. 이는 TSD 및 TED 결함의 정확한 정량화 및 공간 분포를 얻기 어려운 에피택셜 웨이퍼 검사의 현재 한계를 목표로 합니다. 고정밀 감지를 통해 이 시스템은 SiC 에피택시 및 칩의 TSD 결함을 정확하게 식별하고 위치를 파악하여 칩 수율 및 성능을 더욱 향상시키는 데 중요한 지원을 제공합니다.
이 시스템은 SiC 에피택시 웨이퍼(패턴 프리)와 칩(패턴)의 결함 검사를 지원하여 TSD, TED 및 BPD, SF, SSF, BSF, 삼각 결함, 당근 결함 등 기타 결함 유형을 식별하고 분류할 수 있습니다. TSD/TED 위치 파악 정확도 <1μm, 칩 구조 위치 파악 정확도 <1μm로 매우 높은 위치 파악 정확도를 달성합니다. 시스템 처리량은 6인치 웨이퍼의 경우 시간당 4~5장의 웨이퍼, 8인치 웨이퍼의 경우 시간당 2~3장의 웨이퍼입니다. |
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SR 9000
