仕様
高安定直線移動ステージ
| 移動範囲 | 300mm |
| 最高速度 | 400mm/秒 |
| 最大加速度 | 10000 mm/s² |
| 双方向リピート位置決め精度 | ±0.25μm |
| 最大積載量 | 3kg |
| 最小ステップサイズ | 0.1μm |
| 真直度・平面度 | ±4μm |
| X軸の偏差 | ±100μrad |
| Y軸偏差 | ±150μrad |
| 重さ | 6.3kg |
| 駆動モーターの種類 | DCリニアブラシレスモーター |
| 平均推力 | 15N |
| ピーク推力 | 30N |
光遅延線
| 波長範囲 | 450~10000nm(任意の波長範囲に対応) |
| キット構成 | 再帰反射器マウント |
| 2 インチ長方形光学ミラー マウント、高反射率レーザー ミラーがプリロードされた左/右利きバージョン | |
| 4× コンパクトな光学調整マウント、高反射率レーザーミラーをプリロード | |
| ディレイラインミラーマウントベースセット |