명세서
안정성이 높은 선형 이동 스테이지
| 여행 범위 | 300mm |
| 최대 속도 | 400mm/초 |
| 최대 가속도 | 10000mm/s² |
| 양방향 반복 포지셔닝 정확도 | ±0.25μm |
| 최대 부하 용량 | 3kg |
| 최소 단계 크기 | 0.1μm |
| 진직도 / 평탄도 | ±4μm |
| X축 편차 | ±100μrad |
| Y축 편차 | ±150μrad |
| 무게 | 6.3kg |
| 구동 모터 유형 | DC 선형 브러시리스 모터 |
| 평균 추력 | 15N |
| 피크 추력 | 30N |
광학 지연선
| 파장 범위 | 450-10000nm(옵션 파장 범위와 호환 가능) |
| 키트 구성 | 역반사체 마운트 |
| 2인치 직사각형 광학 미러 마운트, 고반사 레이저 미러가 사전 탑재된 왼손/오른손용 버전 | |
| 4× 소형 광학 조정 마운트, 고반사 레이저 미러가 사전 탑재됨 | |
| 지연 라인 미러 마운트 베이스 |