Produktfunktion
Wafergröße testen: 4'
Mess-uLED-Typ: RGB
Hellfeld-/PL-Testtyp: Hellfeld-Defektanalyse, Elektrodendefektanalyse, PL-Defektanalyse
Elektrische EL-Testelemente: VI-Kurve, IR1/IR2/IR3, VF1/VF2/VF3
Elemente für kolorimetrische EL-Tests: Cx, Cy, WLD und EQE
PL/AOI-Testgeschwindigkeit: 10 Min./Stück (4')
EL-Testgeschwindigkeit: 1,5 s/Chip zu Chip