マイクロ LED ウェーハレベルの包括的なテストおよび分析システムの

製品の特長

• テストウェハサイズ: 4'

• 測定uLEDタイプ： RGB

• 明視野・PL検査タイプ： 明視野欠陥解析、電極欠陥解析、PL欠陥解析

• EL電気試験項目： VIカーブ、IR1/IR2/IR3、VF1/VF2/VF3

• EL比色検査項目： Cx、Cy、WLD、EQE

• PL/AOI 試験速度: 10 分/個 (4')

• ELテスト速度: 1.5秒/ダイツーダイ