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| El sistema TAU‑9000 emplea imágenes de espectroscopia transitoria ultrarrápida basada en sonda de bomba para lograr una caracterización de alta resolución temporal y espacial de la vida útil de los portadores minoritarios de obleas. Los portadores fotogenerados se excitan con la luz de la bomba y su dinámica de desintegración se mide mediante imágenes resueltas en el tiempo, lo que permite una evaluación precisa de los efectos de las dislocaciones, los defectos puntuales y la contaminación de la superficie en la vida útil de los portadores, reflejando así la calidad general de las obleas.
El sistema admite múltiples tamaños de oblea (2', 4', 6', 8', 12') y una variedad de materiales que incluyen SiC, GaN, GaAs, InP y Si, con un rango de medición de vida útil de <5 ns a varios segundos, una resolución espacial de 275 μm y una resolución temporal de 1 a 10 ns. Una cámara de vacío evita daños ópticos a la superficie de la muestra. Los algoritmos de IA integrados permiten un análisis cuantitativo de la densidad de defectos y una evaluación personalizada, lo que permite un seguimiento de la calidad de la cadena completa desde el sustrato, pasando por la epitaxia, hasta el dispositivo. |
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TAU 9000
Ejemplos de casos
A diferencia de la técnica μ-PCD convencional, la serie TAU-9000 utiliza imágenes espectroscópicas transitorias de oblea completa para capturar datos de vida útil de portadores minoritarios a alta velocidad y con alta resolución espacial, superando con creces el μ-PCD tradicional en métricas clave como resolución temporal, resolución espacial y rendimiento.
| TAU-9000 | μ-PCD convencional | |
| Principio de prueba | Imágenes de un solo disparo de oblea completa con sonda de bomba (alta eficiencia) | Escaneo punto por punto de desintegración de la fotoconductividad por microondas (μ-PCD) |
| Longitud de onda de excitación | 355 nm / 266 nm | 349 nm (longitud de onda única) |
| Resolución temporal | < 5 ns (SiC) | > 30 ns |
| Resolución espacial | 275 micras | >1mm |
| Tiempo de escaneo | < 5 min/oblea | ~90 min @ 0,5 mm Tamaño de paso |
Tamaño máximo de oblea |
12' | 8' |
