El sistema TAU‑9000 emplea imágenes de espectroscopia transitoria ultrarrápida basada en sonda de bomba para lograr una caracterización de alta resolución temporal y espacial de la vida útil de los portadores minoritarios de obleas. Los portadores fotogenerados se excitan con la luz de la bomba y su dinámica de desintegración se mide mediante imágenes resueltas en el tiempo, lo que permite una evaluación precisa de los efectos de las dislocaciones, los defectos puntuales y la contaminación de la superficie en la vida útil de los portadores, reflejando así la calidad general de las obleas.
El sistema admite múltiples tamaños de oblea (2', 4', 6', 8', 12') y una variedad de materiales que incluyen SiC, GaN, GaAs, InP y Si, con un rango de medición de vida útil de <5 ns a varios segundos, una resolución espacial de 275 μm y una resolución temporal de 1 a 10 ns. Una cámara de vacío evita daños ópticos a la superficie de la muestra. Los algoritmos de IA integrados permiten un análisis cuantitativo de la densidad de defectos y una evaluación personalizada, lo que permite un seguimiento de la calidad de la cadena completa desde el sustrato, pasando por la epitaxia, hasta el dispositivo.
El sistema admite múltiples tamaños de oblea (2', 4', 6', 8', 12') y una variedad de materiales que incluyen SiC, GaN, GaAs, InP y Si, con un rango de medición de vida útil de <5 ns a varios segundos, una resolución espacial de 275 μm y una resolución temporal de 1 a 10 ns. Una cámara de vacío evita daños ópticos a la superficie de la muestra. Los algoritmos de IA integrados permiten un análisis cuantitativo de la densidad de defectos y una evaluación personalizada, lo que permite un seguimiento de la calidad de la cadena completa desde el sustrato, pasando por la epitaxia, hasta el dispositivo.
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